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Pub. No.:    WO/2015/125412    International Application No.:    PCT/JP2015/000295
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 23.01.2015
B24B 7/17 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventors: USAMI, Yoshihiro; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Priority Data:
2014-031004 20.02.2014 JP
(JA) ワークの両頭研削方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a double-headed workpiece grinding method that supports a thin plate-shaped workpiece from the outside in the radial direction using a ring-shaped holder and rotates same and is for simultaneously grinding both surfaces of the ring-shaped holder-supported workpiece using a pair of grindstones. The double-headed workpiece grinding method is characterized in that both surfaces of the workpiece are ground simultaneously, setting the grindstone abrasion losses per 1 µm of workpiece grinding allowance to be 0.10 µm to 0.33 µm. Provided thereby is a double-headed workpiece grinding method capable of reducing nanotopography formed in a previous step such as a slicing step without worsening flatness during the double-headed grinding step.
(FR)La présente invention porte sur un procédé de meulage de pièce à travailler à double tête, ledit procédé permettant de porter une pièce à travailler en forme de plaque mince à partir de l'extérieur dans la direction radiale à l'aide d'un support de forme annulaire, et de faire tourner celle-ci, et de meuler simultanément les deux surfaces de la pièce à travailler portée par le support de forme annulaire à l'aide d'une paire de meules. Le procédé de meulage de pièce à travailler à double tête est caractérisé en ce que les deux surfaces de la pièce à travailler sont meulées simultanément, établissant les pertes d'abrasion pour 1 µm de tolérance de meulage de la pièce à travailler entre 0,10 µm et 0,33 µm. Par conséquent, un procédé de meulage de pièce à travailler à double tête est fourni, celui-ci réduisant une nanotopographie formée dans une étape précédente, telle qu'une étape de tranchage, sans détériorer la planéité pendant l'étape de meulage à double tête.
(JA) 本発明は、リング状ホルダーによって、薄板状のワークを径方向に沿って外周側から支持して自転させるとともに、一対の砥石によって、前記リング状ホルダーにより支持した前記ワークの両面を同時に研削するワークの両頭研削方法であって、前記ワークの研削取り代1μmあたりの前記砥石の摩耗量が、0.10μm以上0.33μm以下となるように設定して、前記ワークの両面を同時に研削することを特徴とするワークの両頭研削方法である。これにより、両頭研削工程において、平坦度を悪化させることなく、スライス工程等の前工程で形成されたナノトポグラフィを低減させることができるワークの両頭研削方法が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)