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1. (WO2015125178) X-RAY THICKNESS GAUGE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/125178    International Application No.:    PCT/JP2014/002677
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 22.05.2014
IPC:
G01B 15/02 (2006.01)
Applicants: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP)
Inventors: KAGAWA, Takeshi;
Agent: INOUE Masanori; c/o i.PARTNERS Intellectual Property Law, 13F Tower Riverk, 12-1, Ekimae-honcho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2100007 (JP)
Priority Data:
2014-032740 24.02.2014 JP
Title (EN) X-RAY THICKNESS GAUGE
(FR) JAUGE D'ÉPAISSEUR À RAYONS X
(JA) X線厚さ計
Abstract: front page image
(EN)The purpose of this invention is to provide an X-ray thickness gauge in which, using a simple configuration, measurement error due to temperature drift in the amount of radiation delivered by said X-ray thickness gauge after thickness calibration has been performed can be corrected, even while in the process of performing a measurement. Said X-ray thickness gauge (100) is provided with the following: an X-ray generator (1) provided with both a cooling unit (1b) that uses a cooling medium to cool an X-ray tube (1a) and a power-supply unit (1c) that supplies power that is applied to said X-ray tube; a detector (5) that detects delivered detection radiation that has passed through an object (4) being measured; a calibration device (2) provided with a thickness reference sample; and a computation unit (6) that references a calibration table to determine the thickness of the object being measured. This X-ray thickness gauge is also provided with a temperature sensor (7) that measures the temperature of the cooling medium. The computation unit is provided in advance with a temperature-correction table from which a detection-radiation delivery amount corresponding to the difference between the temperature of the cooling medium during calibration and the temperature of the cooling medium during a measurement can be determined. The computation unit references said temperature-correction table to determine the amount of detection radiation to deliver and references the abovementioned calibration table to determine the abovementioned thickness.
(FR)Le but de cette invention est de concevoir une jauge d'épaisseur à rayons X dans laquelle, à l'aide d'une configuration simple, les erreurs de mesure, dues à une dérive de température, relatives à la quantité de rayonnement délivré par ladite jauge d'épaisseur à rayons X après avoir effectué un étalonnage d'épaisseur, peuvent être corrigées, même au cours de la réalisation d'une mesure. Ladite jauge d'épaisseur à rayons X (100) comprend les éléments suivants : un générateur de rayons X (1) comprenant à la fois une unité de refroidissement (1b) qui utilise un agent de refroidissement pour refroidir un tube à rayons X (1a) et une unité d'alimentation (1c) qui fournit de l'énergie qui est appliquée audit tube à rayons X; un détecteur (5) qui détecte le rayonnement de détection délivré qui est passé à travers un objet (4) mesuré; un dispositif d'étalonnage (2) comprenant un échantillon de référence d'épaisseur; et une unité de calcul (6) qui se réfère à une table d'étalonnage pour déterminer l'épaisseur de l'objet mesuré. Cette jauge d'épaisseur à rayons X comprend également un capteur de température (7) qui mesure la température de l'agent de refroidissement. L'unité de calcul est munie à l'avance d'une table de correction de température à partir de laquelle une quantité de rayonnement de détection délivré correspondant à la différence entre la température de l'agent de refroidissement au cours de l'étalonnage et la température de l'agent de refroidissement au cours de la réalisation d'une mesure, peut être déterminée. L'unité de calcul se réfère à ladite table de correction de température pour déterminer la quantité de rayonnement de détection à délivrer et se réfère à la table d'étalonnage mentionnée ci-dessus pour déterminer ladite épaisseur.
(JA)本発明は、厚さ校正済みのX線厚さ計の照射線量の温度ドリフトによる測定誤差を、簡易な構成で、測定中であっても補正が可能なX線厚さ計を提供することを目的とする。 X線管1aを冷却媒体で冷却する冷却部1bと、当該X線管に印加する電源を供給する電源部1cと、を備えるX線発生器1と、被測定物4を透過した検出照射線量を検出する検出器5と、厚さ基準片を備える校正装置2と、校正テーブルを参照して被測定物の厚さを求める演算部6と、を備えるX線厚さ計100であって、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサ7を備え、演算部は、校正時の冷却媒体の温度と、測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に対応する検出照射線量を求める温度補正テーブルを予め備え、温度補正テーブルを参照して検出照射線量を求め、さらに、校正テーブルを参照して厚さを求めるX線厚さ計。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)