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1. (WO2015125127) HYBRID METROLOGY TECHNIQUE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/125127    International Application No.:    PCT/IL2014/050940
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 30.10.2014
IPC:
G06F 19/00 (2011.01), G06F 17/15 (2006.01), G06T 7/60 (2006.01), G06K 9/00 (2006.01)
Applicants: GLOBAL FOUNDRIES [US/US]; 400 Stonebreak Road Extension Malta, New York 12020 (US).
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. [IL/IL]; Weizmann Scientific Park P.O.B. 266 7610201 Rehovot (IL)
Inventors: VAID, Alok; (US).
BOZDOG, Cornel; (US).
WOLFLING, Shay; (IL).
SENDELBACH, Matthew; (US).
TSAI, Jamie; (US).
OSORIO, Carmen; (US)
Agent: STADLER, Svetlana; Reinhold Cohn and Partners P.O.B. 13239 6113102 Tel-Aviv (IL)
Priority Data:
61/943,392 23.02.2014 US
Title (EN) HYBRID METROLOGY TECHNIQUE
(FR) TECHNIQUE DE MÉTROLOGIE HYBRIDE
Abstract: front page image
(EN)A computerized system and method are provided for use in measuring at least one parameter of interest of a structure. The system comprises a server utility configured for data communication with at least first and second data provider utilities. The server utility receives, from the server provider utilities, measured data comprising first and second measured data pieces of different types indicative of parameters of the same structure; and is capable of processing the first and second measured data pieces for optimizing one or more first parameters values of the structure in one of the first and second measured data pieces by utilizing one or more second parameters values of the structure of the other of said first and second measured data pieces.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé informatisés destinés à être utilisés pour mesurer au moins un paramètre d'intérêt d'une structure. Le système comprend une fonctionnalité de serveur configurée pour une communication de données avec au moins des première et seconde fonctionnalités de fournisseur de données. La fonctionnalité de serveur reçoit, à partir des fonctionnalités de fournisseur de services, des données mesurées comprenant des premier et second éléments de données mesurées de différents types indiquant des paramètres de la même structure ; et est capable de traiter les premier et second éléments de données mesurées pour optimiser une ou plusieurs premières valeurs de paramètre de la structure dans l'un des premier et second éléments de données mesurées en utilisant une ou plusieurs secondes valeurs de paramètre de la structure de l'autre desdits premier et second éléments de données mesurées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)