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1. (WO2015124714) DETECTING A PROPAGATION DIRECTION OF AN OPTICAL BEAM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/124714    International Application No.:    PCT/EP2015/053590
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 20.02.2015
IPC:
G02B 7/28 (2006.01), G02B 27/64 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01), G02B 5/18 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Straße 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: BAUMER, Florian; (DE)
Agent: WILHELM & BECK; Prinzenstr. 13 80639 München (DE)
Priority Data:
10 2014 203 141.9 21.02.2014 DE
Title (DE) ERFASSUNG EINER AUSBREITUNGSRICHTUNG EINES OPTISCHEN STRAHLS
(EN) DETECTING A PROPAGATION DIRECTION OF AN OPTICAL BEAM
(FR) DÉTECTION D'UNE DIRECTION DE PROPAGATION D'UN FAISCEAU OPTIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen einer Ausbreitungsrichtung eines optischen Strahls. Die Erfassungseinrichtung weist einen Detektor auf, welcher mit dem optischen Strahl bestrahlbar ist. Die Erfassungseinrichtung weist eine dem Detektor vorgeschaltete fokussierende optische Einrichtung zum Fokussieren des optischen Strahls auf. Die Erfassungseinrichtung weist eine dem Detektor vorgeschaltete diffraktive optische Struktur zur Formung des optischen Strahls auf, so dass der auf den Detektor auftreffende optische Strahl eine Intensitätsverteilung mit einem Intensitätsmaximum aufweist, welches eine einen Bereich umschließende Form aufweist. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Vorrichtung mit einer solchen Erfassungseinrichtung.
(EN)The invention relates to a detection device for detecting a propagation direction of an optical beam. The detection device comprises a detector, which can be irradiated with the optical beam. The detection device comprises a focusing optical device for focusing the optical beam, said optical device being disposed upstream of the detector. The detection device comprises a diffractive optical structure for shaping the optical beam, said optical structure being disposed upstream of the detector, such that the optical beam impinging on the detector has an intensity distribution having an intensity maximum which has a shape enclosing a region. The invention furthermore relates to an apparatus comprising such a detection device.
(FR)L'invention concerne un dispositif de détection destiné à détecter une direction de propagation d'un faisceau optique. Le dispositif de détection comprend un détecteur pouvant être exposé à un faisceau optique. Le dispositif de détection comprend un dispositif optique de focalisation placé en amont du détecteur, qui est destiné à focaliser le faisceau optique. Le dispositif de détection comprend une structure optique diffringente placée en amont du détecteur, laquelle est destinée à mettre en forme le faisceau optique de telle sorte que le faisceau optique arrivant sur le détecteur présente une distribution d'intensité possédant un maximum d'intensité qui présente une forme entourant une zone. L'invention porte en outre sur un système pourvu d'un tel dispositif de détection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)