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1. (WO2015124471) SUBASSEMBLY OF AN OPTICAL SYSTEM, IN PARTICULAR IN A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/124471    International Application No.:    PCT/EP2015/052825
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 11.02.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
SCHWERTNER, Tilman [DE/DE]; (DE) (US only).
FIGUEREDO, Stacy [US/DE]; (DE) (US only)
Inventors: SCHWERTNER, Tilman; (DE).
FIGUEREDO, Stacy; (DE)
Agent: FRANK, Hartmut; (DE)
Priority Data:
10 2014 203 144.3 21.02.2014 DE
Title (EN) SUBASSEMBLY OF AN OPTICAL SYSTEM, IN PARTICULAR IN A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
(FR) SOUS-ENSEMBLE D'UN SYSTÈME OPTIQUE, EN PARTICULIER DANS UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns a subassembly of an optical system, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus, with an element (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70) and at least one temperature-controlling device for controlling the temperature of this element, this temperature-controlling device having a cooling medium in a closed circuit with at least one tube-like portion, this cooling medium being transportable away from the element or to the element in the tube-like portion while performing a two-phase transition, and a heating device (15, 25) being provided for interrupting the transport of the cooling medium by heating up the cooling medium.
(FR)L'invention concerne un sous-ensemble d'un système optique, en particulier dans un appareil d'exposition par projection microlithographique, doté d un élément (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70) et d'au moins un dispositif de commande de température pour commander la température de cet élément, ce dispositif de commande de température ayant un agent de refroidissement dans un circuit fermé avec au moins une partie en forme de tube, cet agent de refroidissement étant transportable à l'opposé de l'élément ou vers l'élément dans la partie en forme de tube tout en effectuant une transition à deux phases, et un dispositif de chauffage (15, 25) étant disposé pour interrompre le transport de l'agent de refroidissement par chauffage de l'agent de refroidissement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)