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1. (WO2015124145) DEVICE FOR THE WET-CHEMICAL TREATMENT OF OBJECTS, IN PARTICULAR FLAT, IN PARTICULAR DISK-SHAPED ITEMS SUCH AS SEMICONDUCTOR SLICES, SUBSTRATES, OR THE LIKE
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Pub. No.:    WO/2015/124145    International Application No.:    PCT/DE2015/100064
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 16.02.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: RAMGRABER GMBH [DE/DE]; Pappelstrasse 2 85649 Brunnthal (DE)
Inventors: RAMGRABER, Egon; (DE)
Agent: PATENTANWALT DIPL.-ING. RALF BUCHER; (DE)
Priority Data:
20 2014 100 815.2 24.02.2014 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUR NASSCHEMISCHEN BEHANDLUNG VON OBJEKTEN, INSBESONDERE VON FLACHEN, INSBESONDERE SCHEIBENFÖRMIGEN GEGENSTÄNDEN WIE HALBLEITERSCHEIBEN, SUBSTRATEN ODER DERGLEICHEN
(EN) DEVICE FOR THE WET-CHEMICAL TREATMENT OF OBJECTS, IN PARTICULAR FLAT, IN PARTICULAR DISK-SHAPED ITEMS SUCH AS SEMICONDUCTOR SLICES, SUBSTRATES, OR THE LIKE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT CHIMIQUE PAR VOIE HUMIDE D'OBJETS, EN PARTICULIER D'OBJETS PLATS, EN PARTICULIER EN FORME DE DISQUES, TELS QUE DES TRANCHES DE SEMI-CONDUCTEUR, DES SUBSTRATS OU SIMILAIRES
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung von Objekten, insbesondere von flachen, insbesondere scheibenförmigen Gegenständen wie Halbleiter-Wafern, Substraten oder dergleichen (12, 14) mit einer Trommel (10) mit einer Beladungsöffnung (11) und einem Trommelboden (24), einer Halterung (16, 18) für die Objekte (12, 14), die um eine Rotationsachse drehbar in der Trommel (10) angeordnet ist, einem Motor (20) mit einer durch den Trommelboden (24) hindurchtretenden Antriebswelle (26) zum Antreiben der Halterung (16, 18), einer oder mehreren Chemikalien-Sprühdüsen (22) zum Besprühen der in der Halterung (16, 18) gelagerten Objekte (14) mit Chemikalien und einer oder mehreren Reinigungs-Sprühdüsen (30) zum Besprühen zumindest eines Teils der Innenseite der Trommel (10) mit einem Reinigungsmittel.
(EN)The invention relates to a device for the wet-chemical treatment of objects, in particular flat, in particular disk-shaped items such as semiconductor wafers, substrates, or the like (12, 14), comprising: a drum (10), which has a loading opening (11) and a drum bottom (24); a retainer (16, 18) for the objects (12, 14), which retainer is arranged in the drum (10) in such a way that the retainer can be rotated about an axis of rotation; a motor (20) having a drive shaft (26) for driving the retainer (16, 18), which drive shaft passes through the drum bottom (24); one or more chemical spray nozzles (22) for spraying the objects (14) held in the retainer (16, 18) with chemicals; and one or more cleaning spray nozzles (30) for spraying at least part of the inside of the drum (10) with a cleaning agent.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement chimique par voie humide d'objets, en particulier d'objets plats, en particulier en forme de disques, tels que des tranches de semi-conducteur, des substrats ou similaires (12, 14). Ledit dispositif comprend un tambour (10) pourvu d'une ouverture de chargement (11) et d'un fond (24), un élément de retenue (16, 18) pour les objets (12, 14), qui est disposé dans le tambour (10) de manière à pouvoir tourner autour d'un axe de rotation, un moteur (20) pourvu d'un arbre d'entraînement (26) passant à travers le fond (24) du tambour et servant à entraîner l'élément de retenue (16, 18), une ou plusieurs buses de pulvérisation (22) de produits chimiques, servant à pulvériser des produits chimiques sur les objets (14) logés dans l'élément de retenue (16, 18), et une ou plusieurs buses de pulvérisation de nettoyage (30) servant à pulvériser un produit nettoyant sur au moins une partie de la face intérieure du tambour (10).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)