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1. (WO2015123464) MULTI-SPOT SCANNING COLLECTION OPTICS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/123464    International Application No.:    PCT/US2015/015704
Publication Date: 20.08.2015 International Filing Date: 12.02.2015
IPC:
G02B 26/10 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-TENCOR CORPORATION Legal Department One Technology Drive, Milpitas Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: SULLIVAN, Jamie M.; (US).
JOHNSON, Ralph; (US).
CHURIN, Evegeny; (US).
CAI, Wenjian; (US).
MOON, Yong Mo; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US)
Priority Data:
61/939,140 12.02.2014 US
14/619,004 10.02.2015 US
Title (EN) MULTI-SPOT SCANNING COLLECTION OPTICS
(FR) OPTIQUES DE CAPTAGE À BALAYAGE À POINTS MULTIPLES
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are apparatus and methods for inspecting or measuring a specimen. A system comprises an illumination channel for generating and deflecting a plurality of incident beams to form a plurality of spots that scan across a segmented line comprised of a plurality of scan portions of the specimen. The system also includes one or more detection channels for sensing light emanating from a specimen in response to the incident beams directed towards such specimen and collecting a detected image for each scan portion as each incident beam's spot is scanned over its scan portion. The one or more detection channels include at least one longitudinal side channel for longitudinally collecting a detected image for each scan portion as each incident beam's spot is scanned over its scan portion.
(FR)L'invention porte sur un appareil et sur des procédés qui permettent d'inspecter et de mesurer un spécimen. Un système comporte un canal d'éclairage pour générer et dévier une pluralité de faisceaux incidents de façon à former une pluralité de points qui effectuent un balayage sur une ligne segmentée comprenant une pluralité de parties de balayage du spécimen. Le système comprend également un ou plusieurs canaux de détection pour détecter une lumière émanant d'un spécimen en réponse aux faisceaux incidents dirigés vers ce spécimen et pour capter une image détectée pour chaque partie de balayage quand chaque point du faisceau incident effectue un balayage sur cette partie de balayage. Le ou les canaux de détection comprennent au moins un canal latéral longitudinal pour capter de façon longitudinale une image détectée pour chaque partie de balayage quand chaque point du faisceau incident effectue un balayage sur sa partie de balayage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)