WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2015123008) SYSTEM FOR AND METHOD OF PROVIDING PRESSURE INSENSITIVE SELF VERIFYING MASS FLOW CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/123008    International Application No.:    PCT/US2015/012851
Publication Date: 20.08.2015 International Filing Date: 26.01.2015
IPC:
G05D 7/06 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810 (US)
Inventors: DING, Junhua; (US).
L'BASSI, Michael; (US)
Agent: MCCLOSKEY, G. Matthew; (US)
Priority Data:
14/180,063 13.02.2014 US
Title (EN) SYSTEM FOR AND METHOD OF PROVIDING PRESSURE INSENSITIVE SELF VERIFYING MASS FLOW CONTROLLER
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE PRODUIRE UN RÉGULATEUR DE DÉBIT MASSIQUE AUTOCONTRÔLÉ INSENSIBLE À LA PRESSION
Abstract: front page image
(EN)A mass flow controller comprises: a pressure-based flow meter, a thermal-based flow meter, a control valve, and a system controller. The pressure-based flow meter and thermal-based flow meter each measure flow rate of mass through the mass flow controller. The control valve controls the flow rate in response to a control signal generated as a function of the flow rate as measured by thermal-based flow meter when the measured flow rate is relatively low, and as a function of the flow rate as measured by the pressure-based flow meter when the flow rate is relatively high. A comparison of the flow measurements of the two flow meters can be used to (a) sense pressure disturbances at low flow rates, and (b) sense when the thermal-based flow meter is out of calibration so that a zero offset signal can be applied to the thermal-based flow meter
(FR)L'invention concerne un régulateur de débit massique qui comprend : un débitmètre basé sur la pression, un débitmètre à base thermique, une vanne de régulation, et un régulateur de système. Le débitmètre basé sur la pression et le débitmètre à base thermique mesurent chacun le débit massique à travers le régulateur de débit massique. La vanne de régulation régule le débit en réponse à un signal de régulation généré en fonction du débit tel que mesuré par le débitmètre à base thermique quand le débit mesuré est relativement bas, et en fonction du débit tel que mesuré par le débitmètre basé sur la pression quand le débit est relativement haut. Une comparaison des mesures de débit des deux débitmètres peut servir (a) à détecter des perturbations de pression à bas débits, et (b) à détecter quand le débitmètre à base thermique est hors d'étalonnage de sorte qu'un signal à décalage nul puisse être appliqué au débitmètre à base thermique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)