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1. (WO2015122840) MICRO-ELECTROMECHANICAL RESONATORS AND METHODS OF PROVIDING A REFERENCE FREQUENCY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/122840    International Application No.:    PCT/SG2015/000038
Publication Date: 20.08.2015 International Filing Date: 11.02.2015
Chapter 2 Demand Filed:    09.12.2015    
IPC:
H03H 9/00 (2006.01), H01H 41/08 (2006.01)
Applicants: AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH [SG/SG]; 1 Fusionopolis Way #20-10 Connexis Singapore 138632 (SG)
Inventors: XU, Jinghui; (SG).
WANG, Nan; (SG).
GU, Yuandong Alex; (SG)
Agent: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER LLP; P. O. Box 1088 Rochor Post Office Rochor Road Singapore 911833 (SG)
Priority Data:
2014011472 11.02.2014 SG
Title (EN) MICRO-ELECTROMECHANICAL RESONATORS AND METHODS OF PROVIDING A REFERENCE FREQUENCY
(FR) RÉSONATEURS MICROÉLECTROMÉCANIQUES ET PROCÉDÉS DE FOURNITURE D'UNE FRÉQUENCE DE RÉFÉRENCE
Abstract: front page image
(EN)According to various embodiments, there is provided a micro-electromechanical resonator, including a substrate with a cavity therein; and a resonating structure suspended over the cavity, the resonating structure having a first end anchored to the substrate, wherein the resonating structure is configured to flex in a flexural mode along a width direction of the resonating structure, wherein the width direction is defined at least substantially perpendicular to a length direction of the resonating structure, wherein the length direction is defined from the first end to a second end of the resonating structure, wherein the second end opposes the first end.
(FR)Selon divers modes de réalisation, l'invention concerne un résonateur microélectromécanique, comprenant un substrat doté d'une cavité ; et une structure résonante suspendue au-dessus de la cavité, la structure résonante ayant une première extrémité ancrée sur le substrat, laquelle structure résonante est conçue pour fléchir dans un mode de flexion dans le sens de la largeur de la structure résonante, lequel sens de la largeur est défini au moins sensiblement perpendiculaire au sens de la longueur de la structure résonante, lequel sens de la longueur est défini de la première extrémité à une seconde extrémité de la structure résonante, laquelle seconde extrémité est opposée à la première extrémité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)