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1. (WO2015122222) TABLE APPARATUS, TRANSFER APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/122222    International Application No.:    PCT/JP2015/050542
Publication Date: 20.08.2015 International Filing Date: 09.01.2015
IPC:
G12B 5/00 (2006.01), B23Q 1/44 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: NSK Ltd. [JP/JP]; (JP)
Inventors: SATOU, Toshinori; (JP)
Agent: SAKAI, Hiroaki; (JP)
Priority Data:
2014-027714 17.02.2014 JP
Title (EN) TABLE APPARATUS, TRANSFER APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
(FR) APPAREIL TABLE, APPAREIL DE TRANSFERT, ET APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) テーブル装置、搬送装置、及び半導体製造装置
Abstract: front page image
(EN)A table apparatus (100) is provided with: a first member (1) capable moving within a predetermined plane; a second member (2) capable of relatively moving with respect to the first member; a first guide apparatus (4), which has at least a part thereof disposed on the first member, and which guides the second member such that, due to the moving of the first member, the second member moves in the direction parallel to a first axis orthogonal to the predetermined plane; a table having a first portion supported by means of the second member; and a plurality of second guide apparatuses (5), each of which has at least a part thereof connected to each of a plurality of second portions of the table, said second portions being disposed to surround the first portion, and each of which guides the table such that the table moves in the direction parallel to the first axis.
(FR)Selon l'invention, un appareil table (100) comprend : un premier élément (1) capable de se déplacer dans un plan prédéterminé ; un deuxième élément (2) capable de se déplacer relativement par rapport au premier élément ; un premier appareil guide (4) dont au moins une partie est placée sur le premier élément, et qui guide le deuxième élément de façon que, suite au mouvement du premier élément, le deuxième élément se déplace dans la direction parallèle à un premier axe orthogonal au plan prédéterminé ; une table ayant une première partie supportée grâce au deuxième élément ; et une pluralité de deuxièmes appareils guides (5), dont chacun a au moins une partie reliée à chacune d'une pluralité de deuxièmes parties de la table, lesdites deuxièmes parties étant disposées pour entourer la première partie, et chacun guidant la table de façon que la table se déplace dans la direction parallèle au premier axe.
(JA) テーブル装置(100)は、所定面内において移動可能な第1部材(1)と、第1部材に対して相対移動可能な第2部材(2)と、少なくとも一部が第1部材に配置され、第1部材の移動により所定面と直交する第1軸と平行な方向に第2部材が移動するように第2部材をガイドする第1ガイド装置(4)と、第2部材に支持される第1部分を有するテーブルと、第1部分を囲むように配置されるテーブルの複数の第2部分のそれぞれに少なくとも一部が接続され、第1軸と平行な方向にテーブルが移動するようにテーブルをガイドする複数の第2ガイド装置(5)と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)