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1. (WO2015121447) 3D MAGNETIC FIELD SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/121447 International Application No.: PCT/EP2015/053155
Publication Date: 20.08.2015 International Filing Date: 13.02.2015
Chapter 2 Demand Filed: 08.12.2015
IPC:
G01R 33/00 (2006.01) ,G01R 33/02 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,G01B 7/30 (2006.01) ,H01L 43/02 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06
using galvano-magnetic devices
09
Magneto-resistive devices
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7
Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
30
for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
02
Details
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08
Magnetic-field-controlled resistors
Applicants:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventors:
UEBERSCHÄR, Olaf; DE
ECKE, Ramona; DE
SCHULZ, Stefan; DE
MATTHES, Patrick; DE
ALBRECHT, Manfred; DE
Agent:
HERSINA, Günter; DE
Priority Data:
10 2014 202 770.514.02.2014DE
Title (EN) 3D MAGNETIC FIELD SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) CAPTEUR DE CHAMP MAGNÉTIQUE 3D ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(DE) 3D MAGNETFELDSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
Abstract:
(EN) The invention relates to a 3D magnetic field sensor for detecting three spatial magnetic field components in a reference region, said sensor being usuable in a magnetic field camera for example. The sensor has a first magnetoresistive sensor element arrangement, a second magnetoresistive sensor element arrangement, and a third magnetoresistive sensor element arrangement. The first magnetoresistive sensor element arrangement is designed to detect a first magnetic field component with respect to a first spatial axis and with respect to the reference region. The second magnetoresistive sensor element arrangement is designed to detect a second magnetic field component with respect to a second spatial axis and with respect to the reference region. The third magnetoresistive sensor element arrangement is designed to detect a third magnetic field component with respect to a third spatial axis and with respect to the reference region. Each of the magnetoresistive sensor element arrangements is arranged as a bridge circuit with a plurality of magnetoresistive sensor elements. The spatial axes run along linearly independent position vectors in space.
(FR) L'invention concerne un capteur de champ magnétique 3D, servant à détecter trois composantes spatiales du champ magnétique dans une zone de référence et utilisable par exemple dans une caméra de champ magnétique, qui comporte un premier ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs, un deuxième ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs et un troisième ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs. Le premier ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs est adapté pour détecter une première composante du champ magnétique par rapport à un premier axe de l'espace et par rapport à la zone de référence. Le deuxième ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs est adapté pour détecter une deuxième composante du champ magnétique par rapport à un deuxième axe de l'espace et par rapport à la zone de référence. Le troisième ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs est adapté pour détecter une troisième composante du champ magnétique par rapport à un troisième axe de l'espace et par rapport à la zone de référence. Chaque ensemble d'éléments détecteurs magnétorésistifs se présente sous la forme d'un circuit en pont comprenant une pluralité d'éléments détecteurs magnétorésistifs. Les axes de l'espace sont orientés suivant des vecteurs position linéairement indépendants dans l'espace.
(DE) Ein 3D Magnetfeldsensor zur Erfassung von drei räumlichen Magnetfeldkomponenten in einem Referenzbereich, der beispielsweise bei einer Magnetfeldkamera einsetzbar ist, weist eine erste magnetoresistive Sensorelementeanordnung, eine zweite magnetoresistive Sensorelementeanordnung und eine dritte magnetoresistive Sensorelementeanordnung auf. Die erste magnetoresistive Sensorelementeanordnung ist ausgebildet, eine erste Magnetfeldkomponente bezüglich einer ersten Raumachse und bezüglich des Referenzbereichs zu erfassen. Die zweite magnetoresistive Sensorelementeanordnung ist ausgebildet, um eine zweite Magnetfeldkomponente bezüglich einer zweiten Raumachse und bezüglich des Referenzbereichs zu erfassen. Die dritte magnetoresistive Sensorelementeanordnung ist ausgebildet, um eine dritte Magnetfeldkomponente bezüglich einer dritten Raumachse und bezüglich des Referenzbereichs zu erfassen. Jede der magnetoresistiven Sensorelementeanordnungen ist als Brückenschaltung mit einer Mehrzahl von magnetoresistiven Sensorelementen angeordnet. Die Raumachsen verlaufen entlang linear unabhängiger Ortsvektoren im Raum.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)