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1. (WO2015119849) MULTIPLE WAVELENGTH ELLIPSOMETER SYSTEM AND RELATED METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/119849    International Application No.:    PCT/US2015/013681
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 30.01.2015
IPC:
G01J 3/447 (2006.01), G01J 4/04 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: FILM SENSE, LLC [US/US]; 420 West Chanceler Drive Lincoln, NE 68521 (US)
Inventors: JOHS, Blaine, D.; (US).
HADWIGER, Bruce, A.; (US)
Agent: KRUSE, Richard, A.; (US)
Priority Data:
14/173,994 06.02.2014 US
Title (EN) MULTIPLE WAVELENGTH ELLIPSOMETER SYSTEM AND RELATED METHOD
(FR) SYSTÈME D'ELLIPSOMÈTRE À LONGUEURS D'ONDE MULTIPLES ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Abstract: front page image
(EN)A multiple wavelength ellipsometer system for use in thin film characterization is disclosed. The light source for the system may include sequentially scanned multiple light emitting diodes or laser diodes. The polarization state detector may comprise no moving parts, and utilizes economical uncoated glass plates as beam splitters. The system compensates for potential measurement errors induced by misalignment of the input beam angle to the polarization state detector via a paired arrangement of the beam splitters. To provide improved accuracy in the analysis of data acquired by the system, methods herein actively compensate for the relatively large bandwidth of a preferable light emitting diode source.
(FR)L'invention concerne un système d'ellipsomètre à longueurs d'onde multiples destiné à être utilisé lors d'une caractérisation de film mince. La source de lumière pour le système peut comprendre de multiples diodes électroluminescentes, ou des diodes laser, balayées séquentiellement. Le détecteur d'état de polarisation peut comprendre des parties non mobiles et utilise des plaques de verre non recouvertes et économique en tant que séparateurs de faisceau. Le système compense de possibles erreurs de mesure induites par un mauvais alignement de l'angle de faisceau d'entrée par rapport au détecteur d'état de polarisation par l'intermédiaire d'un agencement apparié des séparateurs de faisceaux. Pour donner une meilleure précision dans l'analyse des données acquises par le système, des procédés selon l'invention compensent activement la largeur de bande relativement importante d'une source de diode électroluminescente préférable.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)