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1. (WO2015119787) METHODS OF DIRECTING MAGNETIC FIELDS IN A PLASMA SOURCE, AND ASSOCIATED SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/119787    International Application No.:    PCT/US2015/012607
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 23.01.2015
IPC:
H05H 1/24 (2006.01), H05H 1/34 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Ave. Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: YE, Zheng John; (US).
PINSON, Jay D., II; (US).
HANAWA, Hiroji; (US).
ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos; (US)
Agent: BERNARD, Eugene J.; (US)
Priority Data:
61/937,947 10.02.2014 US
14/600,397 20.01.2015 US
Title (EN) METHODS OF DIRECTING MAGNETIC FIELDS IN A PLASMA SOURCE, AND ASSOCIATED SYSTEMS
(FR) PROCÉDÉ CONSISTANT À DIRIGER DES CHAMPS MAGNÉTIQUES DANS UNE SOURCE DE PLASMA, ET SYSTÈMES ASSOCIÉS
Abstract: front page image
(EN)A plasma source includes a plasma vessel that includes a dielectric material that encloses a cavity of a toroidal shape. The toroidal shape defines a toroidal axis therethrough. The vessel forms input and output connections, each of the input and output connections being in fluid communication with the cavity. One or more metal plates are disposed adjacent to the plasma vessel for cooling the plasma vessel. A magnetic core is disposed along the toroidal axis such that respective first and second ends of the magnetic core extend beyond axially opposed sides of the plasma vessel. First and second induction coils are wound about the respective first and second ends of the magnetic core. A plasma is generated in the cavity when an input gas is supplied through the input connection and an oscillating electrical current is supplied to the first and second induction coils.
(FR)L'invention concerne une source de plasma qui inclut une ampoule de plasma qui inclut un matériau diélectrique qui ceint une cavité de forme toroïdale. La forme toroïdale définit un axe toroïdal à travers lui. L'ampoule forme des raccordements d'entrée et de sortie, chacun des raccordements d'entrée et de sortie étant en communication fluidique avec la cavité. Une ou plusieurs plaque(s) de métal est/sont disposée(s) de manière adjacente à l'ampoule de plasma pour le refroidissement de l'ampoule de plasma. Un noyau magnétique est disposé le long de l'axe toroïdal de sorte que des première et seconde extrémités respectives du noyau magnétique s'étendent au-delà de côtés axialement opposés de l'ampoule de plasma. Des première et seconde bobines d'induction sont enroulées autour des première et seconde extrémités respectives du noyau magnétique. Un plasma est généré dans la cavité quand un gaz d'entrée est introduit à travers le raccordement d'entrée et un courant électrique oscillant est appliqué aux première et seconde bobines d'induction.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)