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1. (WO2015119199) GENERATING DEVICE FOR GENERATING PLASMA IN TUBE-SHAPED BODY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/119199 International Application No.: PCT/JP2015/053252
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 05.02.2015
IPC:
C23C 16/27 (2006.01) ,H05H 1/24 (2006.01)
Applicants: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY[JP/JP]; 2-12-1, Ookayama, Meguro-ku, Tokyo 1528550, JP
Inventors: OHTAKE, Naoto; JP
INOUE, Masaki; JP
Agent: AOKI, Atsushi; JP
Priority Data:
2014-02133806.02.2014JP
Title (EN) GENERATING DEVICE FOR GENERATING PLASMA IN TUBE-SHAPED BODY
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DESTINÉ À GÉNÉRER DU PLASMA DANS UN CORPS EN FORME DE TUBE
(JA) 管状体内にプラズマを発生させる発生装置
Abstract: front page image
(EN)  The present invention provides a plasma-generating device able to perform DLC deposition by a batch process on an inner surface of tube-shaped bodies having various diameters and aspect ratios, and able to perform DLC deposition on the inner surface of a long circular tube without being affected by the length of the tube-shaped body having a circular tube shape or the like. The generating device for generating plasma in a tube-shaped body is characterized in being provided with: a tube-shaped body; a metal electrode inserted in an inner space portion of the tube-shaped body; a raw material insertion hole for inserting raw material into the inner space portion of the tube-shaped body; and a nanopulse power source for applying a pulse voltage, the tube-shaped body forming a cathode, and the metal electrode forming the anode.
(FR)  L'invention concerne un dispositif de génération de plasma pouvant réaliser un dépôt de carbone de type diamant (DLC) par un procédé discontinu sur une surface intérieure de corps en forme de tube ayant des diamètres et des rapports d'aspect variés, et pouvant effectuer le dépôt de DLC sur la surface intérieure d'un tube circulaire long sans être affecté par la longueur du corps en forme de tube ayant une forme de tube circulaire ou similaire. Le dispositif de génération destiné à générer du plasma dans un corps en forme de tube est caractérisé en ce qu'il comporte : un corps en forme de tube; une électrode métallique insérée dans une partie espace intérieur du corps en forme de tube; un trou d'insertion de matériau brut destiné à insérer un matériau brut dans la partie espace intérieur du corps en forme de tube; et une source de puissance de nano-impulsion destinée à appliquer une tension d'impulsion, le corps en forme de tube formant une cathode et l'électrode métallique formant l'anode.
(JA)  本発明は、円管等の管状体の長さに影響されることなく,長尺の円管内面にもDLCの成膜が可能となり、様々な径,アスペクト比の管状体内面へのDLC成膜がバッチ処理で可能となるプラズマ発生装置を提供する。 管状体;管状体の中空部分に挿入された金属電極;管状体の中空部分に原料を導入するための原料導入口;ならびにパルス電圧を印加するためのナノパルス電源;を備え、管状体は陰極を形成し、そして金属電極は陽極を形成してなる、ことを特徴とする管状体内にプラズマを発生させる発生装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)