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1. (WO2015119029) SUBSTRATE HOLDER, PLATING APPARATUS, AND PLATING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/119029 International Application No.: PCT/JP2015/052456
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 29.01.2015
IPC:
C25D 17/06 (2006.01) ,C25D 17/08 (2006.01) ,C25D 17/12 (2006.01)
Applicants: EBARA CORPORATION[JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP
Inventors: FUJIKATA, Jumpei; JP
MINAMI, Yoshio; JP
Agent: WATANABE, Isamu; JP
Priority Data:
2014-02166406.02.2014JP
2014-12553718.06.2014JP
2014-25636318.12.2014JP
Title (EN) SUBSTRATE HOLDER, PLATING APPARATUS, AND PLATING METHOD
(FR) SUPPORT DE SUBSTRAT, APPAREIL DE PLACAGE ET PROCÉDÉ DE PLACAGE
(JA) 基板ホルダ、めっき装置、およびめっき方法
Abstract: front page image
(EN) This substrate holder is provided with: a plurality of inside contacts (45) which contact the peripheral edge of a substrate (W) and through which electrical current flows to the substrate; a plurality of outside contacts (42) having resiliency and respectively having a contact surface (42a) contacting a power feed terminal (51) connected to a power supply (18), the outside contacts (42) being respectively connected to the plurality of inside contacts (45); and a conductor block (60) arranged on the back side of the contact surfaces (42a) at a distance from the outside contacts (42). The plurality of outside contacts (42), when the contact surfaces (42a) thereof are pressed against the power feed terminal (51), are capable of respectively deforming to the point of contacting the conductor block (60).
(FR) L'invention concerne un support de substrat comportant : une pluralité de contacts intérieurs (45) qui viennent en contact avec le bord périphérique d'un substrat (W) et à travers lesquels circule un courant électrique vers le substrat; une pluralité de contacts extérieurs (42) possédant une élasticité et ayant respectivement une surface de contact (42a) en contact avec une borne d'alimentation électrique (51) connectée à une alimentation électrique (18), les contacts extérieurs (42) étant respectivement connectés à la pluralité de contacts intérieurs (45); et un bloc conducteur (60) disposé sur le côté arrière des surfaces de contact (42a) à une certaine distance des contacts extérieurs (42). Lorsque les surfaces de contact (42a) des contacts extérieurs sont pressées contre la borne d'alimentation électrique (51), les contacts extérieurs (42) sont capables de se déformer respectivement vers le point de contact avec le bloc conducteur (60).
(JA)  基板ホルダは、基板(W)の周縁部に接触し、該基板に電流を流す複数の内部接点(45)と、電源(18)に接続された給電端子(51)に接触される接触面(42a)をそれぞれ有し、複数の内部接点(45)にそれぞれ接続された弾性を有する複数の外部接点(42)と、接触面(42a)の裏側に配置され、外部接点(42)から離間して配置された導体ブロック(60)とを備える。複数の外部接点(42)は、接触面(42a)が給電端子(51)に押し付けられたときに、導体ブロック(60)に接触するまでそれぞれ変形することが可能である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)