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1. (WO2015118972) IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/118972    International Application No.:    PCT/JP2015/051947
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 20.01.2015
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: ASANO, Tosiya; (JP).
HASEGAWA, Noriyasu; (JP).
MURAKAMI, Yosuke; (JP)
Agent: OHTSUKA, Yasunori; (JP)
Priority Data:
2014-019767 04.02.2014 JP
Title (EN) IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL D'IMPRESSION, PROCÉDÉ D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
Abstract: front page image
(EN)An imprint apparatus includes: a substrate stage; a mold stage; a detector configured to detect a relative position of a substrate to a mold in a direction parallel to a surface of the substrate; a vibration unit configured to transmit a vibration to the imprint material; and a controller configured to control the imprint process to align the substrate and the mold based on a detection result by the detector while the vibration unit transmits the vibration to the imprint material after bringing the imprint material and the mold into contact with each other.
(FR)L'invention concerne un appareil d'impression qui comprend : un étage de substrat ; un étage de moulage ; un détecteur configuré pour détecter une position relative d'un substrat par rapport à un moule dans une direction parallèle à une surface du substrat ; une unité vibrante configurée pour transmettre une vibration au matériau d'impression ; et un dispositif de commande configuré pour commander le procédé d'impression pour aligner le substrat et le moule sur la base d'un résultat de détection par le détecteur pendant que l'unité vibrante transmet la vibration au matériau d'impression après avoir mis le matériau d'impression et le moule en contact l'un avec l'autre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)