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Pub. No.:    WO/2015/118782    International Application No.:    PCT/JP2014/083436
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 17.12.2014
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01), B65G 1/00 (2006.01)
Applicants: MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326 (JP)
Inventors: MURATA Masanao; (JP).
YAMAJI Takashi; (JP)
Agent: HASEGAWA Yoshiki; (JP)
Priority Data:
2014-022508 07.02.2014 JP
(JA) パージ装置及びパージ方法
Abstract: front page image
(EN)This purge device (30) uses purge gas to perform purge processing of the inside of a housing vessel (50) at which a housed material is housed, and is provided with: a discharge tube (33) that discharges the purge gas within the housing vessel by means of being connected to the discharge opening of the housing vessel; a measurement unit (39) that measures the discharge flow rate that is the flow fate of purge gas flowing within the discharge tube (33) when executing purge processing; and a determination unit (43) that determines the quality of the purge processing on the basis of the discharge flow rate measured by the measurement unit (39).
(FR)L'invention concerne un dispositif de purge (30) qui utilise un gaz de purge afin d'effectuer un traitement de purge de l'intérieur d'une cuve de logement (50) au niveau de laquelle un matériau logé est logé. Le dispositif est pourvu : d'un tube de décharge (33) qui décharge le gaz de purge à l'intérieur de la cuve de logement au moyen d'une connexion à l'ouverture de décharge de la cuve de logement ; d'une unité de mesure (39) qui mesure le débit de décharge qui est le débit du gaz de purge circulant à l'intérieur du tube de décharge (33) lors de l'exécution d'un traitement de purge ; et une unité de détermination (43) qui détermine la qualité du traitement de purge sur la base du débit de décharge mesuré par l'unité de mesure (39).
(JA) パージ装置(30)は、被格納物が格納される格納容器(50)の内部をパージガスによってパージ処理するパージ装置(30)であって、格納容器の排出口に接続されることにより格納容器内部のパージガスを排出する排出管(33)と、パージ処理を実施する際に排出管(33)を流れるパージガスの流量である排気流量を測定する測定部(39)と、測定部(39)によって測定された排気流量に基づいてパージ処理の良否を判定する判定部(43)と、を備えている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)