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1. (WO2015118775) GAS INJECTION DEVICE AND AUXILIARY MEMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/118775    International Application No.:    PCT/JP2014/083001
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 12.12.2014
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: MURATA MACHINERY, LTD. [JP/JP]; 3, Minami Ochiai-cho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018326 (JP)
Inventors: MURATA Masanao; (JP).
YAMAJI Takashi; (JP)
Agent: HASEGAWA Yoshiki; (JP)
Priority Data:
2014-022082 07.02.2014 JP
Title (EN) GAS INJECTION DEVICE AND AUXILIARY MEMBER
(FR) DISPOSITIF D'INJECTION DE GAZ ET ÉLÉMENT AUXILIAIRE
(JA) ガス注入装置及び補助部材
Abstract: front page image
(EN)This gas injection device (1) is provided with: a carrying unit (2) at which a first vessel (FOUP (10A)) or a second vessel is carried; a discharge unit (5) that is disposed at the carrying unit (2) and that discharges purge gas; and a sealing unit (7) that is provided protruding from the carrying unit (2) in a manner so as to encircle the rim of the discharge unit (5). The discharge unit (5) does not contact the injection opening of the second vessel when in the state of injecting purge gas to the injection opening, and the sealing unit (7) does not obstruct contact between the discharge unit (5) and injection opening (15A) of the FOUP (10A) when in the state of purge gas being injected to the injection opening (15A).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'injection de gaz (1) pourvu : d'une unité de transport (2) au niveau de laquelle un premier récipient (FOUP (10A)) ou un second récipient est transporté; une unité de d'évacuation (5) qui est disposée au niveau de l'unité de transport (2) et qui évacue un gaz de purge ; et une unité d'étanchéité (7) qui est disposée en saillie à partir de l'unité de transport (2) de manière à entourer le rebord de l'unité de d'évacuation (5). L'unité d'évacuation (5) n'entre pas en contact avec l'ouverture d'injection du second récipient dans le mode d'injection de gaz de purge dans l'ouverture d'injection, et l'unité de d'étanchéité (7) n'empêche pas le contact entre l'unité de d'évacuation (5) et l'ouverture d'injection (15A) du FOUP (10A) dans le mode d'injection de gaz de purge dans l'ouverture d'injection (15A).
(JA)ガス注入装置(1)は、第1の容器(FOUP(10A))又は第2の容器が載置される載置部(2)と、載置部(2)に配置され、パージガスを吐出する吐出部(5)と、吐出部(5)の周縁を囲むように載置部(2)から突出して設けられる封止部(7)と、を備えている。吐出部(5)は、第2の容器の注入口に対してパージガスを注入する状態において当該注入口に非接触とされており、封止部(7)は、FOUP(10A)の注入口(15A)にパージガスを注入する状態において吐出部(5)と注入口(15A)との接触を妨げない。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)