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Pub. No.:    WO/2015/118717    International Application No.:    PCT/JP2014/075080
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 22.09.2014
G01N 21/3581 (2014.01), G01J 9/02 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: SHIRAMIZU Nobuhiro; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2014-021836 07.02.2014 JP
(JA) テラヘルツ波位相差測定システム
Abstract: front page image
(EN) In order to provide a high-sensitivity terahertz wave phase difference measurement system having a high S/N ratio, tetrahertz interference waves are observed using a half mirror and a movable reference mirror, and the phase difference is calculated, by a terahertz wave generation/detection device that obtains a high S/N ratio by employing a terahertz wave generator for irradiating a non-linear optical crystal with angular phase-matched pump light and seed light, and a terahertz wave detector for irradiating a non-linear optical crystal with angular phase-matched pump light and terahertz waves. In order to match the optical path length of the pump light and the terahertz waves irrespective of the position of the movable reference mirror and the position of a measured object, a first optical delay device, and a second optical delay device that operates in conjunction with movement of a movable reference mirror of a Michelson interferometer, are introduced on the optical path of the pump light.
(FR) Afin d'obtenir un système de mesure de différence de phase d'onde térahertz à haute sensibilité possédant un rapport signal sur bruit (S/N) élevé, on observe des ondes d'interférence térahertz à l'aide d'un demi-miroir et d'un miroir de référence mobile, et la différence de phase est calculée, par un dispositif de détection/génération d'onde térahertz qui obtient un rapport signal sur bruit élevé par l'emploi d'un générateur d'ondes térahertz pour exposer un cristal optique non linéaire à une lumière de pompage à phase angulaire accordée et d'une lumière de germe, et un détecteur d'ondes térahertz pour exposer un cristal optique non linéaire à une lumière de pompage à phase angulaire accordée et des ondes térahertz. Afin de correspondre à la longueur de trajet optique de la lumière de pompage et aux ondes térahertz, quelle que soit la position du miroir de référence mobile et la position d'un objet mesuré, un premier dispositif de retard optique, et un second dispositif de retard optique qui fonctionne conjointement avec un déplacement d'un miroir de référence mobile d'un interféromètre de Michelson, sont introduits sur le trajet optique de la lumière de pompage.
(JA) 高SN比で高感度なテラヘルツ波位相差測定システムを提供するために、非線形光学結晶にポンプ光とシード光を角度位相整合を満たして照射するテラヘルツ波発生器と、非線形光学結晶にポンプ光とテラヘルツ波を角度位相整合を満たして照射するテラヘルツ波検出器を用いることで高いSN比を得られるテラヘルツ波発生・検出装置に、ハーフミラーと可動式参照ミラーを用いてテラヘルツ干渉波を観測し位相差を算出する。可動式参照ミラーの位置や測定対象物の位置に関わらず、ポンプ光とテラヘルツ波の光路長を一致させるために、第一の光遅延器とマイケルソン干渉計の可動式参照ミラーの移動と連動する第二の光遅延器とをポンプ光の光路上に導入する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)