WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2015118696) HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE, AND PLASMA IGNITION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/118696    International Application No.:    PCT/JP2014/056411
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 12.03.2014
IPC:
H01T 15/00 (2006.01)
Applicants: KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 29-1, Heiancho 2-chome, Tsurumi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2300031 (JP)
Inventors: YUZURIHARA, Itsuo; (JP).
AIKAWA, Satoshi; (JP).
OHMA, Ryosuke; (JP)
Agent: SHIONOIRI, Akio; Fujisawa-Central Bldg. 6F, 1-4, Kugenuma-Tachibana 1-chome, Fujisawa-shi, Kanagawa 2510024 (JP)
Priority Data:
2014-019060 04.02.2014 JP
Title (EN) HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE, AND PLASMA IGNITION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN ÉNERGIE À HAUTE FRÉQUENCE, ET PROCÉDÉ D'ALLUMAGE DE PLASMA
(JA) 高周波電源装置およびプラズマ着火方法
Abstract: front page image
(EN)This high-frequency power supply device is provided with: a plasma ignition step in which pulsed power for igniting plasma is supplied; and a drive-power supplying step in which drive power for maintaining the generated plasma is supplied. In the plasma ignition step, an ignition pulse applied by an ignition pulse output operation is configured from a main pulse which induces ignition, and a pre-pulse which is applied at a stage prior to the main pulse, and which has a lower power than the main pulse. As a result of configuring the ignition pulse from the main pulse and the pre-pulse, the high-frequency power supply is protected from reflected-wave power, and plasma is reliably ignited.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'alimentation en énergie haute fréquence dont la mise en œuvre comporte : une étape d'allumage de plasma dans laquelle une énergie pulsée destinée à l'allumage du plasma est fournie; et une étape d'alimentation en énergie d'entraînement dans laquelle une énergie d'entraînement pour maintenir le plasma généré est fournie. Dans l'étape d'allumage de plasma, une impulsion d'allumage appliquée par une opération de sortie d'impulsion d'allumage est configurée à partir d'une impulsion principale qui provoque l'allumage, et une pré-impulsion qui est appliquée à une étape préalable à l'impulsion principale, et qui a une énergie inférieure à celle de l'impulsion principale. Du fait de la configuration de l'impulsion d'allumage à partir de l'impulsion principale et de la pré-impulsion, l'alimentation en énergie à haute fréquence est protégée contre l'énergie des ondes réfléchies, et un plasma est allumé de manière fiable.
(JA)高周波電源装置はプラズマ着火するパルス電力を供給するプラズマ着火工程と、発生したプラズマを維持する駆動電力を供給する駆動電力供給工程とを備える。プラズマ着火工程において、着火パルス出力動作で印加する着火パルスを、着火を促すメインパルスと、メインパルスの前段階で印加され、メインパルスよりも低電力のプリパルスとによって構成する。着火パルスをメインパルスとプリパルスとで構成することによって、反射波電力から高周波電源を保護するとともにプラズマの確実な着火を行う。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)