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1. (WO2015118634) LIGHTING DEVICE, OBSERVATION DEVICE, AND OBSERVATION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/118634    International Application No.:    PCT/JP2014/052690
Publication Date: 13.08.2015 International Filing Date: 05.02.2014
IPC:
G02B 21/06 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: HATADA Hitoshi; (JP).
OUCHI Yumiko; (JP)
Agent: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Priority Data:
Title (EN) LIGHTING DEVICE, OBSERVATION DEVICE, AND OBSERVATION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ÉCLAIRAGE, DISPOSITIF D'OBSERVATION ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION
(JA) 照明装置、観察装置及び観察方法
Abstract: front page image
(EN)A lighting device wherein a sample is lighted by interference fringes, the device provided with: a light bundle generating unit that generates first and second light bundles from light that is emitted from a light source; a phase imparting unit that creates a phase difference between the first light bundle and the second light bundle; an interference optical system that interferes with the first light bundle and the second light bundle and generates interference fringes; and a drive control unit that drives the light bundle generating unit and the phase imparting unit and that alters the phase difference or the direction of the interference fringes or both.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'éclairage dans lequel un échantillon est éclairé par des franges d'interférence, le dispositif comprenant : une unité génératrice de faisceau de lumière qui génère des premier et deuxième faisceaux de lumière à partir de la lumière qui est émise depuis une source de lumière ; une unité de mise en phase qui crée une différence de phase entre le premier faisceau de lumière et le deuxième faisceau de lumière ; un système optique d'interférence qui interfère avec le premier faisceau de lumière et le deuxième faisceau de lumière et génère des franges d'interférence ; et une unité de commande de pilotage qui pilote l'unité de génération de faisceau de lumière et l'unité de mise en phase et qui modifie la différence de phase ou la direction des franges d'interférence ou les deux.
(JA) 標本を干渉縞で照明する照明装置において、光源から射出された光から、第1光線束と第2光線束とを生成する光線束生成部と、第1光線束と第2光線束とに位相差を付与する位相付与部と、第1光線束と第2光線束とを干渉させて干渉縞を生成する干渉光学系と、光線束生成部及び位相付与部をそれぞれ駆動して、干渉縞の方向と位相差との少なくとも一方を変化させる駆動制御部とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)