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1. (WO2015115622) ELECTRIC FORCE AND MAGNETIC FORCE MICROSCOPE AND SIMULTANEOUS ELECTRIC FIELD AND MAGNETIC FIELD MEASUREMENT METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/115622    International Application No.:    PCT/JP2015/052766
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 30.01.2015
IPC:
G01Q 60/50 (2010.01), G01Q 60/30 (2010.01)
Applicants: AKITA UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Tegata Gakuen-Machi, Akita-shi, Akita 0108502 (JP)
Inventors: SAITO, Hitoshi; (JP).
YOSHIMURA, Satoru; (JP).
KINOSHITA, Yukinori; (JP)
Agent: YAMAMOTO, Noriaki; (JP)
Priority Data:
2014-016131 30.01.2014 JP
Title (EN) ELECTRIC FORCE AND MAGNETIC FORCE MICROSCOPE AND SIMULTANEOUS ELECTRIC FIELD AND MAGNETIC FIELD MEASUREMENT METHOD
(FR) MICROSCOPE A FORCE ELECTRIQUE ET FORCE MAGNETIQUE, ET PROCEDE DE MESURE SIMULTANEE DE CHAMPS ELECTRIQUE ET MAGNETIQUE
(JA) 電気力/磁気力顕微鏡および電場/磁場同時測定方法
Abstract: front page image
(EN)An electric force and magnetic force microscope (1) provided with: a probe member (11) having a soft magnetic probe (112); a probe excitation unit (12) for exciting the probe member (11); an alternating electric field application unit (131) and an alternating magnetic field application unit (132) for applying an alternating electric field and an alternating magnetic field having different frequencies to the soft magnetic probe (112); an alternating electric field driving unit (141) and an alternating magnetic field driving unit (142) for driving the alternating electric field application unit (131) and the alternating magnetic field application unit (132); a probe vibration detection unit (15) for detecting the vibration of the probe member (11) and generating a vibration detection signal (VIB); a probe scanning unit (16) for scanning a sample (SMPL) using the soft magnetic probe (112); a demodulation unit (17) for acquiring the vibration detection signal (VIB) and demodulating the alternating electric force and alternating magnetic force generated between the sample (SMPL) and the soft magnetic probe (112); an electric field measurement unit (181) for using the demodulated alternating electric force to measure the electric field generated by the sample (SMPL); and a magnetic field measurement unit (182) for using the demodulated alternating magnetic force to measure the magnetic field generated by the sample (SMPL).
(FR)L'invention concerne un microscope (1) à force électrique et force magnétique, qui comporte : un élément sonde (11) comportant une sonde magnétique (112) souple ; une unité (12) d'excitation de sonde pour exciter l'élément sonde (11) ; une unité (131) d'application de champ électrique alternatif et une unité (132) d'application de champ magnétique alternatif, qui appliquent un champ électrique alternatif et un champ magnétique alternatif présentant des fréquences différentes sur la sonde magnétique (112) souple ; une unité (141) de commande de champ électrique alternatif et une unité (142) de commande de champ magnétique alternatif, qui commandent l'unité (131) d'application de champ électrique alternatif et l'unité (132) d'application de champ magnétique alternatif ; une unité (15) détection de vibration de sonde, qui détecte la vibration de l'élément sonde (11) et produit un signal de détection de vibration (VIB) ; une unité (16) balayage de sonde, qui balaie un échantillon (SMPL) au moyen de la sonde magnétique (112) souple ; une unité démodulation (17), qui acquiert le signal de détection de vibration (VIB) et démodule la force électrique alternative et la force magnétique alternative produites entre l'échantillon (SMPL) et la sonde magnétique (112) souple ; une unité (181) de mesure de champ électrique, qui utilise la force électrique alternative démodulée pour mesurer le champ électrique produit par l'échantillon (SMPL) ; et une unité (182) de mesure de champ magnétique, qui utilise la force magnétique alternative démodulée pour mesurer le champ magnétique produit par l'échantillon (SMPL).
(JA)ソフト磁性探針112を有する探針部材11と;探針部材11を励振させる探針励振部12と;周波数が異なる交流電場と交流磁場とをソフト磁性探針112に印加する交流電場印加部131及び交流磁場印加部132と;交流電場印加部131及び交流磁場印加部132を駆動する交流電場駆動部141及び交流磁場駆動部142と;探針部材11の振動を検出し、振動検出信号VIBを生成する探針振動検出部15と;ソフト磁性探針112により試料SMPLを走査する探針走査部16と;振動検出信号VIBを取得し、試料SMPLとソフト磁性探針112との間に生じた交流電気力および交流磁気力を復調する復調部17と;復調された交流電気力を用いて、試料SMPLから生じる電場を測定する電場測定部181と;復調された交流磁気力を用いて、試料SMPLから生じる磁場を測定する磁場測定部182と、を備える電気力/磁気力顕微鏡1。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)