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1. (WO2015115367) MECHANICAL QUANTITY MEASURING DEVICE AND SENSOR UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/115367    International Application No.:    PCT/JP2015/052025
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 26.01.2015
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD. [JP/JP]; 2520, Takaba, Hitachinaka-shi, Ibaraki 3128503 (JP)
Inventors: SHIMOKAWA, Hanae; (JP).
OOTA, Hiroyuki; (JP).
KAZAMA, Atsushi; (JP).
HATA, Shohei; (JP).
YAMAGUCHI, Takuto; (JP).
SOMA, Atsuo; (JP).
ASHIDA, Kisho; (JP).
ONOZUKA, Junji; (JP).
MIYAJIMA, Kentarou; (JP).
HIO, Masayuki; (JP)
Agent: NAGAI, Fuyuki; (JP)
Priority Data:
2014-015383 30.01.2014 JP
Title (EN) MECHANICAL QUANTITY MEASURING DEVICE AND SENSOR UNIT
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE QUANTITÉ MÉCANIQUE ET UNITÉ DE CAPTEUR
(JA) 力学量測定装置およびセンサユニット
Abstract: front page image
(EN)A mechanical quantity measuring device is provided with a sensor chip having a strain detector formed on a surface of a semiconductor substrate and a plurality of electrodes connected to the strain detector, a stem having a base that protrudes from an adjacent peripheral portion and has an upper surface that is attached to the lower surface of the sensor chip by a bonding material formed from a metallic or glass material, a lead-out wiring part provided with a plurality of wires that are electrically connected to the plurality of electrodes, and a fixing part for fixing the stem. The stem and fixing part are integrally formed or fixed through metallic bonding or mechanical bonding.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de mesure de quantité mécanique, lequel dispositif comporte une puce de capteur ayant un détecteur de déformation formé sur une surface d'un substrat semi-conducteur et une pluralité d'électrodes connectées au détecteur de déformation, une tige ayant une base qui fait saillie à partir d'une partie périphérique adjacente et qui a une surface supérieure qui est fixée à la surface inférieure de la puce de capteur par un matériau de liaison constitué par un matériau métallique ou en verre, une partie de câblage de connexion de sortie comportant une pluralité de fils qui sont électriquement connectés à la pluralité d'électrodes, et une partie de fixation pour fixer la tige. La tige et la partie de fixation sont formées d'un seul tenant ou fixées par liaison métallique ou liaison mécanique.
(JA) 力学量測定装置は、半導体基板の一面に形成されたひずみ検出部とひずみ検出部に接続された複数の電極とを有するセンサチップと、隣接する周縁部から突き出す台座を有し、台座の上面がセンサチップの下面に金属材料またはガラス材料により形成された接合材により接合されたステムと、複数の電極と電気的に接続された複数の配線を備える引出し配線部と、ステムを固定する固定部とを備え、ステムと固定部とは、一体成形、金属接合また機械的結合により固定されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)