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1. (WO2015115043) WORKPIECE MACHINING DEVICE AND WORKPIECE MACHINING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/115043    International Application No.:    PCT/JP2015/000170
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 16.01.2015
IPC:
B24B 37/34 (2012.01), B24B 7/17 (2006.01), B24B 37/08 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventors: YASUDA, Taichi; (JP).
ENOMOTO, Tatsuo; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Priority Data:
2014-014920 29.01.2014 JP
Title (EN) WORKPIECE MACHINING DEVICE AND WORKPIECE MACHINING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'USINAGE DE PIÈCE ET PROCÉDÉ D'USINAGE DE PIÈCE
(JA) ワークの加工装置およびワークの加工方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a workpiece machining device wherein a workpiece is inserted into and held in a holding hole of a carrier, an upper surface plate is moved downward to a predetermined position so that the carrier holding the workpiece is sandwiched by the upper surface plate and a lower surface plate, and both surfaces of the workpiece are machined simultaneously. The workpiece machining device is characterized by having a storage medium and a controller, wherein: the storage medium stores in advance a polishing load that is generated when the upper surface plate is moved downward to the predetermined position while the workpiece is held normally in the holding hole of the carrier; and the controller calculates a difference between the polishing load stored in the storage medium and a polishing load that is generated when the upper surface plate is moved downward to the predetermined position while the workpiece is held in the holding hole of the carrier, and determines that the workpiece is being held abnormally when the calculated difference exceeds a threshold. This makes it possible to quickly and accurately detect whether the workpiece is being held abnormally before machining of the workpiece, thereby preventing damage to the workpiece and the machining device.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'usinage de pièce dans lequel une pièce est insérée dans et retenue dans un trou de retenue d'un support, une plaque de surface supérieure est déplacée vers le bas jusqu'à une position prédéterminée de sorte que le support retenant la pièce est prise en sandwich par la plaque de surface supérieure et une plaque de surface inférieure, et les deux surfaces de la pièce sont usinées de manière simultanée. Le dispositif d'usinage de pièce est caractérisé en ce qu'il présente un support de stockage et un contrôleur : le support de stockage stockant à l'avance une charge de polissage qui est générée lorsque la plaque de surface supérieure est déplacée vers le bas jusqu'à la position prédéterminée tandis que la pièce est retenue normalement dans le trou de retenue du support ; et le contrôleur calcule une différence entre la charge de polissage stockée dans le support de stockage et une charge de polissage qui est générée lorsque la plaque de surface supérieure est déplacée vers le bas jusqu'à la position prédéterminée tandis que la pièce est retenue dans le trou de retenue du support, et détermine que la pièce est retenue de manière anormale lorsque la différence calculée dépasse un seuil. Cela permet de détecter rapidement et précisément si la pièce est retenue de manière anormale avant l'usinage de la pièce, empêchant ainsi la détérioration de la pièce et du dispositif d'usinage.
(JA) 本発明は、キャリアの保持孔にワークを挿入して保持し、上定盤を固定位置まで下降させて前記ワークを保持した前記キャリアを前記上定盤と下定盤で挟み込み、前記ワークの両面を同時に加工するワークの加工装置であって、前記ワークが前記キャリアの保持孔に正常に保持された状態で前記上定盤を前記固定位置まで下降させた時の研磨荷重を予め記録しておく記憶媒体を有し、前記ワークが前記キャリアの保持孔に保持された状態で前記上定盤を前記固定位置まで下降させた時の研磨荷重と前記記憶媒体に記録した研磨荷重の差を算出し、該算出した差が閾値を超えた場合に、前記ワークの保持異常と判定する制御装置を有することを特徴とするワークの加工装置である。これにより、ワークの加工前にワークの保持異常を短時間で精度良く検出し、ワークや加工装置の破損を防止可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)