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1. (WO2015114992) PLASMA GENERATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/114992    International Application No.:    PCT/JP2014/083810
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 02.12.2014
H05H 1/46 (2006.01), C23C 16/511 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Applicants: NOVELION SYSTEMS CO., LTD. [JP/JP]; 304, Kawajiri, Toyono-cho, Toyono-gun, Osaka 5630217 (JP)
Inventors: MAENO Shuichi; (JP)
Agent: MACHIDA, Kesaji; 10-17-505, Nishinakajima 6-chome, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011 (JP)
Priority Data:
2014-28950 30.01.2014 JP
(JA) プラズマ発生装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a plasma generator with adequate power efficiency, allowing for durability and size-reduction. The plasma generator comprises: a coaxial transmission line (4) constituted from a central conductor (2) and an external conductor (3) shaped cylindrically; a circular first magnet (5) encircling the coaxial transmission line (4); a cylindrically shaped antenna container (7) housing the tip of the central conductor (2); and, on the outer periphery of the antenna container (7), second magnets (8) disposed into a circular form that is coaxial to the central conductor (2). The first magnet (5) magnetizes in a parallel direction to the central axis of the central conductor (2). Each of the second magnets (8) magnetizes in a direction that forms a right angle with the direction in which the central axis of the central conductor (2) extends. The magnetic poles of the first magnet (5) and the second magnets (8) as seen from the center of the antenna container (7) have the same polarity. A microwave is supplied from a microwave power source (28) to the coaxial transmission line (4), causing plasma to be generated from the central conductor (2).
(FR)L'invention concerne un générateur de plasma à efficacité énergétique adéquate, offrant de la durabilité et permettant une réduction de taille. Le générateur de plasma comprend: une ligne de transmission coaxiale (4) constituée par un conducteur central (2) et un conducteur externe (3) de forme cylindrique; un premier aimant circulaire (5) encerclant la ligne de transmission coaxiale (4); un contenant d'antenne de forme cylindrique (7) recevant la pointe du conducteur central (2); et, sur la périphérie extérieure du contenant d'antenne (7), des seconds aimants (8) disposés en une forme circulaire qui est coaxiale avec le conducteur central (2). Le premier aimant (5) aimante dans une direction parallèle à l'axe central du conducteur central (2). Chacun des seconds aimants (8) aimante dans une direction qui forme un angle droit avec la direction dans laquelle s'étend l'axe central du conducteur central (2). Les pôles magnétiques du premier aimant (5) et des seconds aimants (8), vus depuis le centre du contenant d'antenne (7), ont la même polarité. Des hyperfréquences sont fournies par une source d'alimentation hyperfréquence (28) à la ligne de transmission coaxiale (4), provoquant la génération d'un plasma à partir du conducteur central (2).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)