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1. (WO2015114828) SUBSTRATE PRODUCTION MONITORING DEVICE AND SUBSTRATE PRODUCTION MONITORING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/114828    International Application No.:    PCT/JP2014/052436
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 03.02.2014
IPC:
H05K 13/00 (2006.01)
Applicants: FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 19, Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
Inventors: MORITA Yukitoshi; (JP)
Agent: KOBAYASHI Osamu; KAWASHIMA Bldg. 2nd Floor, 19-13, Kanayamacho 1-chome, Atsuta-ku, Nagoya-shi, Aichi 4560002 (JP)
Priority Data:
Title (EN) SUBSTRATE PRODUCTION MONITORING DEVICE AND SUBSTRATE PRODUCTION MONITORING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板生産モニタリング装置および基板生産モニタリング方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a substrate production monitoring device which monitors the production state of a substrate production device, said substrate production monitoring device being provided with: a database unit, which sequentially acquires and stores production state data from a substrate production device; a transition graph display unit which displays a transition graph representing time-series changes for at least a portion of the production state data; a condition change input unit, into which are input condition change data, which represent points of change in production conditions for the substrate production device, and include occurrence time information for the points of change; and a condition change display unit which displays, from the condition change data, at least the occurrence time information for the points of change at time-series corresponding positions within the transition graph. As a result, the device makes it possible to facilitate confirmation by an operator so as to mitigate the burden thereupon, and, in addition, is effective in diagnosis and/or determination of an action for improvement and/or verification of effects of the implemented action for improvement when production efficiency decreases.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de surveillance de la production de substrat qui surveille l'état de production d'un dispositif de production de substrat, ledit dispositif de surveillance de la production de substrat comprenant : une unité de base de données qui acquiert et stocke séquentiellement des données d'état de production en provenance d'un dispositif de production de substrat ; une unité d'affichage de graphique de transition qui affiche un graphique de transition représentant des modifications chronologiques pour au moins une portion des données d'état de production ; une unité d'entrée de changement de condition dans laquelle sont injectées des données de changement de condition, qui représentent des points de changement des conditions de production pour le dispositif de production de substrat et incluent des informations de moment de survenance pour les points de changement ; et une unité d'affichage de changement de condition qui affiche, à partir des données de changement de condition, au moins les informations de moment de survenance pour les points de changement aux positions chronologiques correspondantes au sein du graphique de transition. Le résultat est que le dispositif permet de faciliter la confirmation par un opérateur, ce qui modère la charge à laquelle il est soumis, et, en plus de cela, il est efficace pour le diagnostic et/ou la détermination d'une action d'amélioration et/ou de vérification des effets de l'action mise en œuvre pour l'amélioration lorsque le rendement de production diminue.
(JA) 本発明は、基板生産装置の生産状態をモニタリングする基板生産モニタリング装置であって、基板生産装置から生産状態データを逐次取得して蓄積するデータベース部と、生産状態データの少なくとも一部の時系列的な変化を表す遷移グラフを表示する遷移グラフ表示部と、基板生産装置の生産条件の変化点を表しかつ変化点の発生時刻情報を含んだ条件変化データを入力する条件変化入力部と、条件変化データのうち少なくとも変化点の発生時刻情報を遷移グラフ内の時系列的な対応位置に表示する条件変化表示部と、を備えた。これによれば、オペレータによる確認を容易にして負担を軽減でき、加えて生産状態が低下したときの原因究明、改善処置の決定、および実施した改善処置の効果確認の少なくともいずれかに有効となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)