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1. (WO2015114559) MINIATURIZED DEVICE FOR MEASUREMENTS OF VERY LOW PRESSURE AND OF GAS CONCENTRATIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/114559    International Application No.:    PCT/IB2015/050680
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 29.01.2015
IPC:
G01L 15/00 (2006.01), G01L 27/00 (2006.01), G01L 21/34 (2006.01)
Applicants: NANOTECH ANALYSIS S.R.L.S. [IT/IT]; Corso Re Umberto, 65 I-10128 Torino (IT)
Inventors: MENSA, Gianpiero; (IT)
Agent: BRUNAZZI, Stefano; (IT)
Priority Data:
MI2014A000139 31.01.2014 IT
Title (EN) MINIATURIZED DEVICE FOR MEASUREMENTS OF VERY LOW PRESSURE AND OF GAS CONCENTRATIONS
(FR) DISPOSITIF MINIATURISÉ POUR DES MESURES DE PRESSION TRÈS FAIBLE ET DE TENEURS EN GAZ
Abstract: front page image
(EN)A miniaturized device for measurements of very low level pressure 1 is described. The device 1 comprises an ionization-based detection member 11, configured to detect a pressure value Pi, electronic processing means 10, operatively connected to the ionization-based detection member 11, and configured to generate a measured pressure value P based on the detected pressure value Pi, and further comprising interface means 15, operatively connected to the electronic processing means 10 and configured to provide in output the measured pressure value P. The ionization-based detection member 11, the electronic processor 10 and the interface means 15 are comprised in a single integrated device. The ionization-based detection member 1 1 comprises an ionization source 21 and an ionization region 20, containing gas particles the pressure of which has to be measured, arranged so as to be passed through by ionization particles (e.g., electrons) generated by the source 21, so that the ionization electrons ionize the gas particles, thus generating respective ions. The ionization-based detection member 11 further comprises ion extraction means 22, configured to determine a preferential trajectory for the generated ions, passing through at least one ion extracting window 31, through which the ions leave the ionization region 20; and at least one ion detector 23, configured to detect ions and generate an electrical variable depending on the amount of ions detected and representative of the pressure value of the gas particles that are present in the ionization region 20. The at least one ion detector 23 having micrometer dimensions and is arranged at a respective ion extraction window 31, so as to be shielded against trajectories of X rays generated by impacts of the ionizing electrons with parts of the ionization region 20 other than the at least one ion detector (23).
(FR)La présente invention concerne un dispositif miniaturisé pour des mesures de pression 1 de niveau très faible. Le dispositif (1) comprend un élément (11) de détection par ionisation, conçu pour détecter une valeur de pression Pi, un moyen de traitement électronique (10), relié fonctionnellement à l'élément (11) de détection par ionisation, et conçu pour générer une valeur de pression mesurée P en fonction de la valeur de pression détectée Pi, et comprenant en outre un moyen d'interface (15), relié fonctionnellement au moyen de traitement électronique (10) et conçu pour fournir en sortie la valeur de pression mesurée P. L'élément (11) de détection par ionisation, le processeur électronique (10) et le moyen d'interface (15) sont compris dans un unique dispositif intégré. L'élément (11) de détection par ionisation comprend une source (21) d'ionisation et une région (20) d'ionisation, contenant des particules de gaz dont la pression doit être mesurée, agencée pour être traversée par des particules d'ionisation (par exemple, des électrons) générées par la source (21), de sorte que les électrons d'ionisation ionisent les particules de gaz, générant ainsi des ions respectifs. L'élément (11) de détection par ionisation comprend en outre un moyen (22) d'extraction d'ions, conçu pour déterminer une trajectoire préférentielle pour les ions générés, passant à travers au moins une fenêtre (31) d'extraction d'ions, à travers laquelle les ions quittent la région (20) d'ionisation ; et au moins un détecteur (23) d'ions, conçu pour détecter des ions et générer une variable électrique en fonction de la quantité d'ions détectés et représentant la valeur de pression des particules de gaz qui sont présentes dans la région (20) d'ionisation. Ledit détecteur (23) d'ions ayant des dimensions micrométriques est disposé dans une fenêtre respective (31) d'extraction d'ions, de sorte à être protégé contre les trajectoires de rayons X générés par les impacts des électrons d'ionisation avec des parties de la région (20) d'ionisation autres que ledit détecteur (23) d'ions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Italian (IT)