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1. (WO2015114557) MINIATURIZED DEVICE FOR PRESSURE MEASUREMENTS OVER A VERY WIDE RANGE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/114557 International Application No.: PCT/IB2015/050678
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 29.01.2015
IPC:
G01L 15/00 (2006.01) ,G01L 21/34 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 19/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
15
Devices or apparatus for measuring two or more fluid pressure values simultaneously
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21
Vacuum gauges
30
by making use of ionisation effects
34
using electric discharge tubes with cold cathodes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9
Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19
Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
Applicants: NANOTECH ANALYSIS S.R.L.S.[IT/IT]; Corso Re Umberto, 65 I-10128 Torino, IT
Inventors: MENSA, Gianpiero; IT
Agent: BRUNAZZI, Stefano; IT
Priority Data:
MI2014A00013831.01.2014IT
Title (EN) MINIATURIZED DEVICE FOR PRESSURE MEASUREMENTS OVER A VERY WIDE RANGE
(FR) DISPOSITIF MINIATURISÉ POUR MESURE DE PRESSION SUR UNE TRÈS LARGE PLAGE
Abstract:
(EN) A miniaturized device 1 for pressure measurements over a very wide range is described. The device comprises at least one first electro-mechanical miniaturized sensor member 11, configured to detect a respective first pressure value P1 and generate a first electrical signal S1 representative of the first pressure value P1, and further comprises an ionization-based detection member 19, configured to detect a second pressure value P2, and generate a second electrical signal S2 depending on the amount of ions detected and representative of the second pressure value P2. The ionization-based detection member 19 comprises an ionization source 21, an ionization region 20, ion extraction means 22, and at least one ion detector 23, configured to detections. The device 1 further comprises electronic processing means 10, operatively connected to the first sensor member 11 and to the ionization-based detection member 19, and configured to determine a measured pressure value P based on the first S1 and second S2 detected electrical signals. The device 1 finally comprises interface means 15, operatively connected to the electronic processing means 10 and configured to provide in output the measured pressure value P. The first sensor member 11, the ionization-based detection member 19, the electronic processing means 10 and the interface means 15 are comprised in a single integrated device.
(FR) L'invention porte sur un dispositif miniaturisé (1) pour des mesures de pression sur une très large plage. Le dispositif comprend au moins un premier élément de capteur miniaturisé électromécanique (11), configuré de façon à détecter une première valeur de pression respective (P1) et à générer un premier signal électrique (S1) représentatif de la première valeur de pression (P1), et comprend de plus un élément de détection basé sur une ionisation (19), configuré de façon à détecter une seconde valeur de pression (P2), et à générer un second signal électrique (S2) dépendant de la quantité d'ions détectée, et représentatif de la seconde valeur de pression (P2). L'élément de de détection basé sur une ionisation (19) comprend une source d'ionisation (21), une région d'ionisation (20), des moyens d'extraction d'ions (22), et au moins un détecteur d'ions (23), configuré pour des détections. Le dispositif (1) comprend de plus des moyens de traitement électroniques (10), connectés de façon fonctionnelle au premier élément de capteur (11) et à l'élément de détection basé sur une ionisation (19), et configurés de façon à déterminer une valeur de pression mesurée (B) sur la base des premier (S1) second (S2) signaux électriques détectés. Le dispositif (1) comprend finalement des moyens formant interface (15), connectés de façon fonctionnelle aux moyens de traitement électroniques (10), et configurés de façon à fournir en sortie la valeur de pression mesurée (P). Le premier élément de capteur (11), l'élément de détection basé sur une ionisation (19), les moyens de traitement électroniques (10) et les moyens formant interface (15) sont inclus dans un dispositif intégré unique.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: Italian (IT)