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1. (WO2015114145) TRANSPORT SYSTEM AND VACUUM CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/114145    International Application No.:    PCT/EP2015/052078
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 02.02.2015
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), B65G 39/00 (2006.01)
Applicants: VON ARDENNE GMBH [DE/DE]; Plattleite 19/29 01324 Dresden (DE)
Inventors: MOSSHAMMER, Steffen; (DE).
FUKAREK, Wolfgang; (DE).
DSAAK, Torsten; (DE)
Agent: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER; Am Brauhaus 8 01099 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2014 001 240.9 03.02.2014 DE
10 2014 103 877.0 21.03.2014 DE
Title (DE) TRANSPORTSYSTEM UND VAKUUMKAMMER
(EN) TRANSPORT SYSTEM AND VACUUM CHAMBER
(FR) SYSTÈME DE TRANSPORT ET CHAMBRE À VIDE
Abstract: front page image
(DE)Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein Transportsystem (1) bereitgestellt, aufweisend: mehrere Transportwalzen (9), die in einem Abstand voneinander angeordnet sind, zum Transportieren eines Substrates (2) in einer Transportrichtung (10); mindestens einen Gurt (13), und mindestens eine Blende (12); wobei die Blende (12) ortsfest zu den Transportwalzen (9) angeordnet ist, wobei die Blende (12) zwischen den Transportwalzen (9) in der Transportrichtung (10) beim Transport des Substrates (2) bis an eine Rückseite (7) des Substrates (2) heranreichend derart ausgeführt ist, dass ein erster Spalt (15) zwischen der Blende (12) und der Rückseite (7) des Substrates (2) gebildet ist, wobei der Gurt (13) über mindestens eine Transportwalze (9) der mehreren Transportwalzen geführt ist und beim Transport des Substrates (2) die Rückseite (7) des Substrates (2) einen Teil des Gurtes (13) kontaktiert, und wobei der Gurt (13) ferner derart neben der Blende (12) verlaufend angeordnet ist, dass zwischen der Blende (12) und dem Gurt (13) ein zweiter Spalt (16) gebildet ist.
(EN)According to different embodiments, a transport system (1) is provided having the following: multiple transport rollers (9), which are arranged at a distance from one another, for transporting a substrate (2) in a transport direction (10); at least one belt (13); and at least one cover (12); wherein the cover (12) is stationary relative to the transport rollers (9); the cover (12) is designed to reach between the transport rollers (9) in the transport direction (10) up to a rear face (7) of the substrate (2) when the substrate (2) is being transported such that a first gap (15) is formed between the cover (12) and the rear face (7) of the substrate (2); the belt (13) is guided over at least one transport roller (9) of the multiple transport rollers; the rear face (7) of the substrate (2) contacts a part of the belt (13) when the substrate (2) is being transported; and the belt (13) is further arranged so as to run next to the cover (12) such that a second gap (16) is formed between the cover (12) and the belt (13).
(FR)Selon divers modes de réalisation, l'invention concerne un système de transport (1) comportant : plusieurs rouleaux de transport (2) qui sont disposés de manière écartée les uns des autres pour transporter un substrat (2) dans une direction de transport (10) ; au moins une courroie (13) ; et au moins un panneau (12). Le panneau (12) est agencé de manière fixe par rapport aux rouleaux de transport (9), le panneau (12) étant réalisé entre les rouleaux de transport (9) dans la direction de transport (10) lors du transport du substrat (2) jusqu'à une face arrière (7) du substrat (2) de telle manière qu'un premier interstice (15) est formé entre le panneau (12) et la face arrière (7) du substrat (2). La courroie (13) est guidée par au moins un rouleau de transport (9) de la pluralité de rouleaux de transport et, lors du transport du substrat (2), la face arrière (7) du substrat (2) vient en contact avec une partie de la courroie (13), la courroie (13) étant par ailleurs agencée à côté du panneau (12) de telle manière qu'un deuxième interstice (16) est formé entre le panneau (12) et la courroie (13).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)