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1. (WO2015113843) CATALYTIC CONVERSION OF AN OPTICAL AMPLIFIER GAS MEDIUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/113843    International Application No.:    PCT/EP2015/050837
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 19.01.2015
IPC:
H01S 3/104 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/134 (2006.01), H01S 3/223 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: ZHANG, Kevin; (US).
LIEBENBERG, Christoffel, Johannes; (US).
SCHAFGANS, Alexander; (US)
Agent: SLENDERS, Peter; (NL)
Priority Data:
61/934,143 31.01.2014 US
14/593,278 09.01.2015 US
Title (EN) CATALYTIC CONVERSION OF AN OPTICAL AMPLIFIER GAS MEDIUM
(FR) CONVERSION CATALYTIQUE D'UN MILIEU GAZEUX D'AMPLIFICATEUR OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)An extreme ultraviolet light system includes an optical amplifier system and a catalytic conversion system. Each optical amplifier of the optical amplifier system includes a gain medium in the form of a gas mixture that produces an amplified light beam. The optical amplifier system includes a fluid input and a fluid output through which the gas mixture flows. The catalytic conversion system is fluidly connected to the fluid output of the optical amplifier system and to the fluid input of the optical amplifier system. The catalytic conversion system includes a catalytic converter that includes a housing; a substrate within the housing including openings through which the gas mixture can flow; and a catalyst applied as a coating to the interior surfaces of the openings of the substrate, the catalyst including particles of metal. The particles of metal can be nanoparticles of precious metal.
(FR)La présente invention concerne un système à lumière ultraviolette extrême qui comprend un système d'amplificateurs optiques et un système de conversion catalytique. Chaque amplificateur optique du système d'amplificateurs optiques comprend un milieu de gain sous forme de mélange gazeux qui produit un faisceau lumineux amplifié. Le système d'amplificateurs optiques comprend une entrée de fluide et une sortie de fluide à travers lesquelles s'écoule le mélange gazeux. Le système de conversion catalytique est raccordé de manière fluidique à la sortie de fluide du système d'amplificateurs optiques et à l'entrée de fluide du système d'amplificateurs optiques. Le système de conversion catalytique comprend un convertisseur catalytique qui comprend un logement ; un substrat à l'intérieur du logement, ledit substrat comprenant des ouvertures à travers lesquelles le mélange gazeux peut s'écouler ; et un catalyseur appliqué sous forme de revêtement sur les surfaces intérieures des ouvertures du substrat, le catalyseur comprenant des particules de métal. Les particules de métal peuvent être des nanoparticules de métal précieux.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)