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1. (WO2015113469) LASER ANNEALING DODGING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/113469 International Application No.: PCT/CN2015/070747
Publication Date: 06.08.2015 International Filing Date: 15.01.2015
IPC:
G02B 27/48 (2006.01)
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD.[CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors: XU, Jianxu; CN
LAN, Yanping; CN
Agent: SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Priority Data:
201410043852.929.01.2014CN
Title (EN) LASER ANNEALING DODGING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DÉTOURAGE DE RECUIT AU LASER
(ZH) 一种激光退火匀光装置
Abstract: front page image
(EN) A laser annealing dodging apparatus (500) is applied in a laser annealing apparatus. The laser annealing apparatus comprises a laser device (100) used for transmitting laser beams. The laser annealing dodging apparatus (500) comprises a plurality of cylindrical lenses (510). Curvature radiuses of the plurality of the cylindrical lenses (510) are the same, sizes the cylindrical lenses (510) on surfaces where the curvatures are formed are the same, lengths of the cylindrical lenses (510) along the propagation direction of the beams are different, and the length of the every two cylindrical lenses (510) in the propagation direction of the beams are greater than the coherence length of the laser device. The combination of transparent glass plates (11) and cylindrical lenses (21) in the prior art is placed by the mode of large-size cylindrical lenses (510) of different lengths, effects of interference and uniform beams can also be eliminated, the poor dodging effect caused by diffraction are eliminated, the difficulty of establishing an optical system is reduced, the cost is reduced.
(FR) La présente invention concerne un appareil (500) de détourage de recuit au laser appliqué dans un appareil de recuit au laser. L'appareil de recuit au laser comprend un dispositif laser (100) utilisé pour transmettre des faisceaux laser. L'appareil (500) de détourage de recuit au laser comprend une pluralité de lentilles cylindriques (510). Les rayons de courbure de la pluralité des lentilles cylindriques (510) sont identiques, les tailles des lentilles cylindriques (510) sont identiques sur des surfaces où les courbures sont formées, les longueurs des lentilles cylindriques (510) le long de la direction de propagation des faisceaux sont différentes, et la longueur de deux lentilles cylindriques (510) dans la direction de propagation des faisceaux est supérieure à la longueur de cohérence du dispositif laser. La combinaison de plaques (11) de verre transparent et de lentilles cylindriques (21) selon l'état de la technique est remplacée par le mode lentilles cylindriques (510) de grande taille et de différentes longueurs, les effets d'interférence et de faisceaux uniformes peuvent également être éliminés, le faible effet de détourage provoqué par diffraction est éliminé, la difficulté d'établir un système optique est réduite, et le coût est réduit.
(ZH) 一种激光退火匀光装置(500),应用于一激光退火装置中,激光退火装置包括用于发射激光光束的一激光器(100),激光退火匀光装置(500)包括若干柱面镜(510),若干柱面镜(510)的曲率半径均相同,各个柱面镜(510)在曲率所在平面的尺寸相同,且各个柱面镜(510)在光束的传播方向上的长度不同,每两个柱面镜(510)在光束的传播方向上的长度差大于激光器的相干长度。采用长度不同的大尺寸的柱面镜(510)代替了现有技术中透明玻璃板(11)与柱面镜(21)组合的方式,同样能够实现消除干涉和匀化光束的作用,同时还消除了衍射引起的匀光效果不理想的问题,且减少了光学系统的搭建难度,以及降低了成本。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)