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1. (WO2015047914) AMINE SUBSTITUTED TRISILYLAMINE AND TRIDISILYLAMINE COMPOUNDS
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Pub. No.: WO/2015/047914 International Application No.: PCT/US2014/056618
Publication Date: 02.04.2015 International Filing Date: 19.09.2014
IPC:
C09K 3/18 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
09
DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
K
MATERIALS FOR APPLICATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3
Materials not provided for elsewhere
18
for application to surface to minimize adherence of ice, mist or water thereto; Thawing or antifreeze materials for application to surfaces
Applicants:
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR/FR]; 75 Quai d'Orsay F-75007 Paris, FR
Inventors:
SANCHEZ, Antonio; US
GIRARD, Jean-Marc; FR
ITOV, Gennadiy; US
KHANDELWAL, Manish; US
STEPHENS, Matthew Damien; US
ZHANG, Peng; US
Agent:
McQUEENEY, Patricia; US
Priority Data:
61/883,45227.09.2013US
Title (EN) AMINE SUBSTITUTED TRISILYLAMINE AND TRIDISILYLAMINE COMPOUNDS
(FR) COMPOSÉS TRISILYLAMINES ET TRIDISILYLAMINES À SUBSTITUTION AMINE
Abstract:
(EN) Halogen free amine substituted trisilylamine and tridisilylamine compounds and a method of their preparation via dehydrogenative coupling between the corresponding unsubstituted tnsilylames and amines catalyzed by transition metal catalysts is described. This new approach is based on the catalytic dehydrocoupling of a Si-H and a N-H moety to form an Si-N containing compound and hydrogen gas. The process can be catalyzed by transition metal heterogenous catalysts such as Ru(0) on carbon, Pd(0) on MgO) as well as transition metal organometallic complexes that act as homogeneous catalysts. The -Si-N containing products are halide free. Such compounds can be useful for the deposition of thin films by chemical vapor deposition or atomic layer deposition of Si containing films.
(FR) L'invention décrit des composés trisilylamines et tridisilylamines à substitution amine, sans halogènes, et un procédé pour leur préparation par couplage par déshydrogénation entre la trisilylamine non substituée correspondante et des amines catalysées par des catalyseurs à base de métaux de transition. Cette nouvelle approche se fonde sur le déshydrocouplage catalytique d'un fragment Si-H et d'un fragment N-H pour former un composé contenant Si-N et de l'hydrogène gazeux. Le procédé peut être catalysé par des catalyseurs hétérogènes à base d'un métal de transition, tels que Ru(0) sur carbone, Pd(0) sur MgO, ainsi que par des complexes organométalliques de métaux de transition agissant comme des catalyseurs homogènes. Les produits contenant –Si-N sont sans halogène. Ces composés peuvent être utiles pour le dépôt de couches minces par dépôt chimique en phase vapeur ou dépôt de couches atomiques de films contenant du Si.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)