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1. (WO2015042051) NON-INVASIVE CHARGED PARTICLE BEAM MONITOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/042051    International Application No.:    PCT/US2014/055898
Publication Date: 26.03.2015 International Filing Date: 16.09.2014
IPC:
H01J 37/26 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-TENCOR CORPORATION Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: PLETTNER, Tomas; (US).
GERLING, John; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US)
Priority Data:
61/878,609 17.09.2013 US
14/486,739 15.09.2014 US
Title (EN) NON-INVASIVE CHARGED PARTICLE BEAM MONITOR
(FR) MONITEUR DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES NON INVASIF
Abstract: front page image
(EN)An electromagnetic wakefield detector placed in close proximity to a design trajectory of a non-relativistic charged particle beam produces an optical signal in response to passage of the charged particle beam without interrupting the charged particle beam. A photon detector receives the optical signal and produces a corresponding output. The wakefield detector may be based on the electro optic effect. Specifically, the detector may measure the effect of the charged particle beam a beam of radiation on the phase of radiation travelling parallel to the beam in a nearby electro optic waveguide. This abstract is provided to comply with rules requiring an abstract that will allow a searcher or other reader to quickly ascertain the subject matter of the technical disclosure. It is submitted with the understanding that it will not be used to interpret or limit the scope or meaning of the claims.
(FR)Un détecteur de champ de sillage électromagnétique placé à proximité immédiate d'une trajectoire modèle d'un faisceau de particules chargées non relativiste produit un signal optique en réponse au passage du faisceau de particules chargées sans interrompre le faisceau de particules chargées. Un détecteur de photons reçoit le signal optique et produit une sortie correspondante. Le détecteur de champ de sillage peut être basé sur l'effet électro-optique. Plus particulièrement, le détecteur peut mesurer l'effet du faisceau de particules chargées d'un faisceau de rayonnement sur la phase de rayonnement se déplaçant parallèlement au faisceau dans un guide d'ondes électro-optique situé à proximité. Le présent abrégé est fourni de sorte à être conforme aux règles selon lesquelles un abrégé doit permettre à un chercheur ou tout autre lecteur de déterminer rapidement l'objet de la description technique. Il reste entendu que le présent abrégé ne sera pas utilisé pour interpréter ni limiter le domaine d'application ou le sens des revendications.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)