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1. (WO2015040996) SHAPE MEASUREMENT METHOD AND SHAPE MEASUREMENT APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/040996    International Application No.:    PCT/JP2014/071710
Publication Date: 26.03.2015 International Filing Date: 20.08.2014
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 7-2, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015 (JP)
Inventors: ISHII Noriyuki; (JP).
TAKITANI Toshiya; (JP)
Agent: TAMURA Keijiro; (JP)
Priority Data:
2013-192576 18.09.2013 JP
Title (EN) SHAPE MEASUREMENT METHOD AND SHAPE MEASUREMENT APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME ET APPAREIL DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定方法および形状測定装置
Abstract: front page image
(EN) Provided are a shape measurement method and shape measurement apparatus whereby the shape of an object to be measured can be measured with good precision and while minimizing computation time, using a different approach than a conventional technique. In the present invention, waveform fitting for a system having five unknowns is performed by taking a plurality of samples at five or more points in different detection windows. In the present invention, waveform fitting is performed using the least-squares method, and computation time can therefore be reduced.
(FR) La présente invention concerne un procédé de mesure de forme et un appareil de mesure de forme, avec lesquels la forme d'un objet destiné à être mesuré peut être mesurée avec une bonne précision tout en minimisant le temps de calcul, en utilisant une approche différente d'une technique classique. Dans la présente invention, une adaptation de forme d'onde pour un système qui possède cinq inconnues est réalisée en prenant une pluralité d'échantillons sur au moins cinq points dans des fenêtres de détection différentes. Dans la présente invention, l'adaptation de forme d'onde est réalisée en utilisant la méthode des moindres carrés, et le temps de calcul peut donc être réduit.
(JA) 従来技術とは異なるアプローチで、計算時間を抑えつつ精度良く測定対象物の形状を測定できる形状測定方法及び形状測定装置を提供する。異なる検出窓で複数のサンプリングを5点以上で行うことで、未知数が5つの系の波形フィッティングを行える。又、最小自乗法を用いて波形フィッティングを行うので、計算時間を短縮できる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)