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1. (WO2015040674) TARGET SUPPLY APPARATUS AND EUV LIGHT GENERATING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/040674    International Application No.:    PCT/JP2013/075036
Publication Date: 26.03.2015 International Filing Date: 17.09.2013
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400 Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: NISHISAKA Toshihiro; (JP).
KATO Yoshiaki; (JP).
IWAMOTO Fumio; (JP)
Agent: KINOSHITA & ASSOCIATES; 3rd floor, Ogikubo TM building, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051 (JP)
Priority Data:
Title (EN) TARGET SUPPLY APPARATUS AND EUV LIGHT GENERATING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FOURNITURE DE CIBLE ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UVE
(JA) ターゲット供給装置およびEUV光生成装置
Abstract: front page image
(EN)This target supply apparatus is provided with: a tank, which has a cylindrically formed main body section, one end section that closes one end of the main body section, said one end being in the axis direction of the main body section, and the other end section that closes the other end in the axis direction; a nozzle, which is provided at the one end section of the tank, and which outputs a target substance stored in the tank; and an inert gas supply section that supplies an inert gas to the inside of the tank. The inert gas supply section may be provided with a gas flow channel, which penetrates the other end section of the tank, and which guides the inert gas in the direction toward an inner wall surface of the main body section.
(FR)La présente invention concerne un appareil de fourniture de cible comprenant : un réservoir, qui a une section corps principal formée de façon cylindrique, une section extrémité qui ferme une extrémité de la section corps principal, ladite extrémité étant dans la direction d'axe de la section corps principal, et une autre section extrémité qui ferme l'autre extrémité dans la direction d'axe ; une buse, qui est disposée au niveau d'une section extrémité du réservoir, et qui transmet une substance cible stockée dans le réservoir ; et une section d'alimentation en gaz inerte qui apporte un gaz inerte à l'intérieur du réservoir. La section d'alimentation en gaz inerte peut comprendre un canal d'écoulement de gaz, qui pénètre l'autre section extrémité du réservoir, et qui guide le gaz inerte dans une direction vers une surface de paroi interne de la section corps principal.
(JA) ターゲット供給装置は、筒状に形成された本体部、本体部の軸方向の一端を閉塞する一端部、および、軸方向の他端を閉塞する他端部を有するタンクと、タンクの一端部に設けられ、タンク内部に収容されたターゲット物質を出力するノズルと、タンク内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部とを備え、不活性ガス供給部は、タンクの他端部を貫通し、不活性ガスを本体部の内壁面に向かう方向に導くガス流路を備えてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)