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1. (WO2015037741) PROBE AND PROBE CARD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/037741    International Application No.:    PCT/JP2014/074456
Publication Date: 19.03.2015 International Filing Date: 16.09.2014
IPC:
G01R 1/067 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: TECHNOPROBE, CO., LTD. [JP/JP]; 2-1-11, Higashikamagaya, Kamagaya-shi, Chiba 2730104 (JP)
Inventors: KONDO Motoyasu; (JP).
SHOJI Tomokazu; (JP).
OHI Masatoshi; (JP).
OHI Masaharu; (JP)
Agent: TAKAHASHI Masayoshi; (JP)
Priority Data:
2013-190248 13.09.2013 JP
Title (EN) PROBE AND PROBE CARD
(FR) SONDE ET CARTE SONDE
(JA) プローブ及びプローブカード
Abstract: front page image
(EN) Provided are a probe and a probe card having higher detection accuracy and being easier to produce, even with the move to more highly integrated circuits, higher speeds and higher frequencies. A probe pertaining to a first aspect of the present invention has: a coaxial cable comprising an internal conductor, an insulator that covers the internal conductor, and an external conductor that covers the insulator; a first probe that is connected to the internal conductor of the coaxial cable; a second probe that is connected to the external conductor; and a conductive film which is positioned so as to be in contact with the first probe or the second probe, and the side edges of which are positioned in parallel with the other of the first or the second probe.
(FR) L'invention concerne une sonde et une carte sonde présentant une plus grande précision de détection et étant plus facile à produire, même lorsqu'on passe à des circuits de plus haute intégration, et à des vitesses et fréquences supérieures. Une sonde relevant d'un premier aspect de l'invention comprend: un câble coaxial qui comprend un conducteur interne, un isolant recouvrant le conducteur interne, et un conducteur externe recouvrant l'isolant; une première sonde raccordée au conducteur interne du câble coaxial; une seconde sonde raccordée au conducteur externe; et un film conducteur positionné de manière à venir au contact de la première sonde ou de la seconde sonde, et dont les bords latéraux sont disposés en parallèle avec ceux de la première ou de la seconde sonde.
(JA) 高集積化・高速化・高周波化においても、より検査精度が高く、より製造しやすいプローブ及びプローブカードを提供する。 本発明の第一の観点にかかるプローブは、内部導体と、内部導体を覆う絶縁体と、絶縁体を覆う外部導体と、を備えた同軸ケーブルと、同軸ケーブルの内部導体に接続される第一の探針と、外部導体に接続される第二の探針と、第一の探針又は第二の探針に接触して配置され、側辺が他方の探針に並行して配置される導電性薄膜と、を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)