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1. (WO2015037285) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM MEASUREMENT METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/037285    International Application No.:    PCT/JP2014/064362
Publication Date: 19.03.2015 International Filing Date: 30.05.2014
IPC:
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: TSUNO Natsuki; (JP).
KIMURA Yoshinobu; (JP).
KAZUMI Hideyuki; (JP).
KAWANO Hajime; (JP).
TOMIZAWA Junichiro; (JP)
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2013-190000 13.09.2013 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM MEASUREMENT METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FAISCEAU À PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置および荷電粒子線の計測方法
Abstract: front page image
(EN)Accuracy in the measurement of the amount of secondary electrons released, and stability of charged particle beam images are achieved simultaneously in a charged particle beam device. In the charged particle beam device, extraction of a detection signal is started by a first trigger signal, the extraction of the detection signal is terminated by a second trigger signal, the detection signal is sampled N times (N is a natural number) by N third trigger signals dividing equally a time interval T between the first trigger signal and the second trigger signal, and the second order charged particles are measured by integrating and averaging the signals sampled within each of the time divisions ΔT resulting from an equal division of the time interval T, the time divisions ΔT being controlled in such a way that the number of second order charged particles measured is greater than the minimum number of charged particles to satisfy ergodicity.
(FR)Selon l'invention, la précision de la mesure de la quantité d'électrons secondaires libérés et la stabilité des images de faisceau de particules chargées sont réalisées en même temps dans un dispositif à faisceau de particules chargées. Dans le dispositif à faisceau de particules chargées, l'extraction d'un signal de détection est commencée par un premier signal de déclenchement, l'extraction du signal de détection est terminée par un deuxième signal de déclenchement, le signal de détection est échantillonné N fois (N est un nombre naturel) par N troisièmes signaux de déclenchement divisant de manière égale un intervalle de temps (T) entre le premier signal de déclenchement et le deuxième signal de déclenchement et les particules chargées de second ordre sont mesurées en intégrant et en faisant la moyenne des signaux échantillonnés dans chaque répartition dans le temps (ΔT) résultant d'une division égale de l'intervalle de temps (T), la répartition dans le temps (ΔT) étant commandée de telle manière que le nombre de particules chargées de second ordre mesurées soit supérieur au nombre minimal de particules chargées afin de satisfaire l'ergodicité.
(JA) 荷電粒子線装置において、2次電子放出量の計測精度と、荷電粒子線画像の安定性とを両立させる。 荷電粒子線装置において、第1のトリガ信号により検出信号の抽出を開始し、第2のトリガ信号により前記検出信号の抽出を終了し、第1のトリガ信号と第2のトリガ信号の間隔時間Tを等分割するN回(Nは自然数)の第3のトリガ信号により検出信号のサンプリングをN回行い、間隔時間Tを等分割した分割時間ΔTのそれぞれにおいてサンプリングされた信号を積分して平均化することによって二次荷電粒子を計測し、分割時間ΔTを、計測された二次荷電粒子の数がエルゴード性が満たされる最小の荷電粒子数より多くなるように制御する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)