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Pub. No.:    WO/2015/037277    International Application No.:    PCT/JP2014/063264
Publication Date: 19.03.2015 International Filing Date: 19.05.2014
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/24 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: INABA Kazuhisa; (JP).
SAITO Tsutomu; (JP).
AOKI Kenji; (JP).
ANDO Tohru; (JP)
Agent: KAICHI IP; 4-1, Nihonbashi-honcho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030023 (JP)
Priority Data:
2013-189407 12.09.2013 JP
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention achieves a charged particle beam device whereby even a novice can ascertain the state of each detector and can safely move a detector for performing the intended observation and analysis. The charged particle beam device is provided with following: a plurality of detectors that detect information generated from a specimen by charged particle beam irradiation; a specimen stage that can hold and move a specimen; a display unit; and a control unit that controls a charged particle source, a charged particle optical system, the specimen stage and the display unit. The charged particle beam device, in which at least one of the plurality of detectors is movable, wherein the control unit determines whether the plurality of detectors are usable and whether the movable detector will contact the specimen or specimen stage due to the movement of the movable detector, and displays on the display unit for each of the plurality of detectors whether the detector is usable and whether the detector can be moved.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif à faisceau de particules chargées moyennant lequel même un novice peut s'assurer de l'état de chaque détecteur et peut déplacer sans danger un détecteur pour effectuer l'observation et l'analyse voulues. Le dispositif à faisceau de particules chargées est pourvu des éléments suivants: une pluralité de détecteurs qui détectent des informations générées à partir d'un spécimen par exposition à un faisceau de particules chargées; une platine de spécimen qui peut tenir et déplacer un spécimen; une unité d'affichage; et une unité de commande qui commande une source de particules chargées, un système optique à particules chargées, la platine de spécimen et l'unité d'affichage. Dans le dispositif à faisceau de particules chargées, dans lequel au moins un détecteur de la pluralité de détecteurs est mobile, l'unité de commande détermine si la pluralité de détecteurs sont utilisables et si le détecteur mobile entrera en contact avec le spécimen ou la platine de spécimen en raison du mouvement du détecteur mobile, et affiche sur l'unité d'affichage, pour chaque détecteur de la pluralité de détecteurs, si le détecteur est utilisable et si le détecteur peut être déplacé.
(JA) 初心者であっても各検出器の状態を把握し、目的とする観察や分析をするための検出器を安全に移動できる荷電粒子線装置を実現する。 荷電粒子線の照射によって試料から発生した情報を検出する複数の検出器と、試料を保持して移動させることが可能な試料ステージと、表示部と、荷電粒子源、荷電粒子光学系、試料ステージ、及び表示部を制御する制御部と、を備え、複数の検出器の少なくとも一つは移動可能な検出器である荷電粒子線装置において、制御部は、複数の検出器が使用可能か否か、及び移動可能な検出器の移動により当該移動可能な検出器が試料又は試料ステージと接触するか否かを判断し、複数の検出器のそれぞれについて使用可能か否か又は移動可能か否かを表示部に表示させる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)