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1. (WO2015034941) METHOD AND APPARATUS FOR NON-CONTACT MEASUREMENT OF FORWARD VOLTAGE, SATURATION CURRENT DENSITY, IDEALITY FACTOR AND I-V CURVES IN P-N JUNCTIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2015/034941 International Application No.: PCT/US2014/053923
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 03.09.2014
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors: FAIFER, Vladimir N.; US
KELLY-MORGAN, Ian Sierra Gabriel; US
Agent: MCANDREWS, Kevin; US
Priority Data:
14/475,02502.09.2014US
61/873,57704.09.2013US
61/892,38217.10.2013US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR NON-CONTACT MEASUREMENT OF FORWARD VOLTAGE, SATURATION CURRENT DENSITY, IDEALITY FACTOR AND I-V CURVES IN P-N JUNCTIONS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT UNE MESURE SANS CONTACT DE LA TENSION DIRECTE, DE LA DENSITÉ DE COURANT DE SATURATION, DU FACTEUR D'IDÉALITÉ ET DES COURBES I-V DANS DES JONCTIONS P-N
Abstract: front page image
(EN) Non-contact measurement of one or more electrical response characteristics of a p-n junction includes illuminating a surface of the p-n junction with light of a first intensity having a modulation or pulsed characteristic sufficient to establish a steady-state condition in a junction photovoltage (JPV) of the p-n junction, measuring a first JPV from the p-n junction within the illumination area, illuminating the surface of the p-n junction with light of an additional intensity, measuring an additional photovoltage from the portion of the p-n junction within the illumination area, determining a photocurrent density of the p-n junction at the first intensity. The non-contact measurement further includes determining the forward voltage, the saturation current density, the ideality factor or one or more I-V curves with the measured first photovoltage, the measured additional photovoltage and/or the determined photocurrent density of the p-n junction.
(FR) L'invention concerne une mesure sans contact d'une ou plusieurs caractéristiques de réponse électrique d'une jonction p-n, ladite mesure consistant à éclairer une surface de la jonction p-n avec une lumière ayant une première intensité et présentant une caractéristique de modulation ou pulsée suffisante pour établir un état stationnaire dans une phototension de jonction (JPV pour Junction PhotoVoltage) de la jonction p-n, à mesurer une première JPV de la jonction p-n dans la zone d'éclairage, à éclairer la surface de la jonction p-n avec une lumière ayant une autre intensité, à mesurer une phototension supplémentaire de la partie de la jonction p-n dans la zone d'éclairage, à déterminer une densité de photocourant de la jonction p-n à la première intensité. La mesure sans contact consiste en outre à déterminer la tension directe, la densité du courant de saturation, le facteur d'idéalité ou une ou plusieurs courbes I-V avec la première phototension mesurée, la phototension supplémentaire mesurée et/ou la densité de photocourant déterminée de la jonction p-n.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)