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1. (WO2015034686) APPARATUS FOR AND METHOD OF TEMPERATURE COMPENSATION IN HIGH POWER FOCUSING SYSTEM FOR EUV LPP SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/034686    International Application No.:    PCT/US2014/052173
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 21.08.2014
IPC:
H01S 3/139 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 5504 DR Veldhoven (NL)
Inventors: ERSHOV, Alexander, I.; (US)
Agent: NGUYEN, Joseph, A.; (US)
Priority Data:
14/017,882 04.09.2013 US
Title (EN) APPARATUS FOR AND METHOD OF TEMPERATURE COMPENSATION IN HIGH POWER FOCUSING SYSTEM FOR EUV LPP SOURCE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE COMPENSATION DE TEMPÉRATURE DANS UN SYSTÈME DE FOCALISATION DE PUISSANCE ÉLEVÉE POUR SOURCE LPP UVE
Abstract: front page image
(EN)Apparatus for and method of temperature compensating a focusing system In which the focusing system has at least one transmissive optical element having a thermal lens. A reflective optical element is added to the system that has a thermal lens that is complementary to the thermal lens of the transmissive optical element so that the optical characteristics of the two optical elements combined are substantially temperature independent The respective thermal lenses of the two optical elements are balanced by selecting materials for the reflective optical element that have the correct optical absorption based on the absorption of the transmissive optical element and the relative strengths of the thermal lenses.
(FR)L'invention concerne un appareil et un procédé de compensation de température dans un système de focalisation dans lequel le système de focalisation comprend au moins un élément optique de transmission muni d'une lentille thermique. Un élément optique réfléchissant est ajouté au système possédant une lentille thermique qui est complémentaire de la lentille thermique de l'élément optique de transmission, de sorte que les caractéristiques optiques des deux éléments optiques combinés sont sensiblement indépendantes de la température. Les lentilles thermiques respectives des deux éléments optiques sont équilibrées par le choix des matériaux pour l'élément optique réfléchissant ayant l'absorption optique correcte sur la base de l'absorption de l'élément optique de transmission et des puissances relatives des lentilles thermiques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)