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Pub. No.:    WO/2015/034654    International Application No.:    PCT/US2014/051329
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 15.08.2014
H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: RANISH, Joseph M.; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; (US)
Priority Data:
61/874,552 06.09.2013 US
Abstract: front page image
(EN)Embodiments disclosed herein relate to circular lamp arrays for use in a semiconductor processing chamber. Circular lamp arrays utilizing one or more torroidal lamps disposed in a reflective trough and arranged in a concentric circular pattern may provide for improved rapid thermal processing. The reflective troughs, which may house the torroidal lamps, may be disposed at various angles relative to a surface of a substrate being processed.
(FR)Des modes de réalisation de l’invention portent sur des réseaux de lampes circulaires pour une utilisation dans une chambre de traitement de semi-conducteur. Des réseaux de lampes circulaires utilisant une ou plusieurs lampes toroïdales disposées dans une cuvette réfléchissante et agencées dans un motif circulaire concentrique peuvent fournir un traitement thermique rapide amélioré. Les cuvettes réfléchissantes, qui peuvent recevoir les lampes toroïdales, peuvent être disposées à divers angles par rapport à une surface d’un substrat qui est traité.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)