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1. (WO2015034362) CHARGED PARTICLE OPTICAL DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/034362    International Application No.:    PCT/NL2014/050610
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 05.09.2014
IPC:
H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. [NL/NL]; Computerlaan 15 NL-2628 XK Delft (NL)
Inventors: CHATOOR, Sohail; (NL).
WITTEVEEN, Joost; (NL).
ROSENTHAL, Alon; (NL).
KONING, Johan Joost; (NL)
Agent: PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Priority Data:
2011401 06.09.2013 NL
61/874,394 06.09.2013 US
Title (EN) CHARGED PARTICLE OPTICAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE À PARTICULES CHARGÉES
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a charged particle optical device for manipulating a trajectory of multiple beamlets of charged particles. Said charged particle optical device comprising an electromagnetic deflector comprising a planar substrate having an upper side and a lower side of said substrate, and an even thickness. The substrate comprises: a through opening for passing said beamlets there through, wherein said through opening debouches in the upper and lower side of said substrate; a first and a second coil, wherein each of said coils preferably is a substantially helical coil and comprises conducting upper leads arranged at the upper side, conducting lower leads arranged at the lower side, and vias extending through said substrate and which conductively connect one of said upper leads with one of said lower leads for forming said coil; wherein said first and second coils are arranged on either side of the through opening.
(FR)L'invention concerne un dispositif optique à particules chargées permettant de manipuler une trajectoire de multiples petits faisceaux de particules chargées. Le dispositif optique à particules chargées comprend un déflecteur électromagnétique doté d'un substrat plan comportant un côté supérieur et un côté inférieur et présentant une épaisseur uniforme. Le substrat comprend : un orifice traversant destiné à être traversé par lesdits petits faisceaux, cet orifice traversant débouchant du côté supérieur et du côté inférieur dudit substrat; une première et une seconde bobine, chacune étant de préférence une bobine sensiblement hélicoïdale et comprenant des fils conducteurs supérieurs placés du côté supérieur, des fils conducteurs inférieurs placés du côté inférieur, et des trous d'interconnexion s'étendant à travers ledit substrat et connectant de manière conductrice l'un des fils supérieurs avec l'un des fils inférieurs afin de former ladite bobine, les première et une seconde bobines étant placées de chaque côté de l'orifice traversant.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)