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1. (WO2015033992) COOLING STRUCTURE FOR ELECTROMAGNETIC COIL, AND ELECTROMAGNETIC ACTUATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/033992    International Application No.:    PCT/JP2014/073299
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 04.09.2014
IPC:
H01F 7/06 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H02K 41/02 (2006.01)
Applicants: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551 (JP).
NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventors: ITO, Akihiro; (JP).
KOUKETSU, Masayuki; (JP).
MORIMOTO, Shigeru; (JP).
YOSHIMOTO, Hiromitsu; (JP).
TANAKA, Koji; (JP)
Agent: YAMADA, Tsuyoshi; (JP)
Priority Data:
2013-182810 04.09.2013 JP
Title (EN) COOLING STRUCTURE FOR ELECTROMAGNETIC COIL, AND ELECTROMAGNETIC ACTUATOR
(FR) STRUCTURE DE REFROIDISSEMENT DE BOBINE ÉLECTROMAGNÉTIQUE ET ACTIONNEUR ÉLECTROMAGNÉTIQUE
(JA) 電磁コイルの冷却構造、及び電磁アクチュエータ
Abstract: front page image
(EN)This cooling structure for a first electromagnetic coil (30) comprises: a first electromagnetic coil (30) in which a space (32) extending in the direction of a predetermined axis (Z) is formed therein; a cooling member (20) that is attached to an end surface (30e), in the predetermined axis (Z) direction, of the first electromagnetic coil (30), and in which a flow path for a fluid is formed therein; and an inlet pipe (22) and an outlet pipe (27) that are respectively connected to an inlet (21) and an outlet (26) of the flow path of the cooling member (20) inside a space (52), and that extend to the outside of the electromagnetic coil (30) through the space (32).
(FR)La présente invention concerne une structure de refroidissement d'une première bobine électromagnétique (30), qui comprend : une première bobine électromagnétique (30) dans laquelle un espace (32) s'étendant dans la direction d'un axe prédéfini (Z) est formé en son sein; un élément de refroidissement (20) qui est fixé à une surface d'extrémité (30e), dans la direction d'axe prédéfini (Z), de la première bobine électromagnétique (30), et dans lequel un trajet d'écoulement d'un fluide est formé en son sein; et une conduite d'entrée (22) et une conduite de sortie (27) qui sont respectivement raccordées à une entrée (21) et une sortie (26) du trajet d'écoulement de l'élément de refroidissement (20) à l'intérieur d'un espace (52), et qui s'étendent vers l'extérieur de la bobine électromagnétique (30) à travers l'espace (32).
(JA) 第1電磁コイル30の冷却構造は、所定軸線Z方向に延びる空間32が内部に形成された第1電磁コイル30と、第1電磁コイル30の所定軸線Z方向の端面30eに取り付けられ、内部に流体の流路が形成された冷却部材20と、空間52の内部において冷却部材20の流路の入口21及び出口26にそれぞれ接続され、空間32を通じて電磁コイル30の外部まで延びた入口配管22及び出口配管27と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)