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1. (WO2015033830) LASER AMPLIFIER AND LASER DEVICE, AS WELL AS EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/033830    International Application No.:    PCT/JP2014/072402
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 27.08.2014
IPC:
H01S 3/23 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01S 3/10 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: SUGANUMA, Takashi; (JP).
HOSHINO, Hideo; (JP)
Agent: TSUBASA PATENT PROFESSIONAL CORPORATION; 3F, Sawada Building, 15-9, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
PCT/JP2013/073987 05.09.2013 JP
Title (EN) LASER AMPLIFIER AND LASER DEVICE, AS WELL AS EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) AMPLIFICATEUR DE LASER ET DISPOSITIF DE LASER, AINSI QUE SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) レーザ増幅器、及びレーザ装置、並びに極端紫外光生成システム
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to suppress propagation of light of a wavelength to be suppressed that is different from a desired wavelength. The present invention may be provided with: a chamber which houses a laser medium; a first window which is provided on the chamber, and which causes laser light of a desired wavelength from the outside to be incident to the interior of the chamber; an excitation apparatus which amplifies the laser light incident to the interior of the chamber by exciting the laser medium; a second window which is provided on the chamber, and which outputs the laser light that has been amplified by the excitation apparatus to the outside of the chamber; a mirror which is disposed on a laser optical path between the first window and the second window; and a wavelength-selective film which is disposed on the first window and/or the second window and/or the mirror, and which suppresses propagation of light of a wavelength to be suppressed that is different from the desired wavelength.
(FR)La présente invention concerne la suppression de la propagation de la lumière d’une longueur d’onde différente d’une longueur d’onde souhaitée. La présente invention peut être pourvue de : une chambre qui abrite un matériau de laser ; une première fenêtre prévue sur la chambre et provoquant la rencontre du laser de lumière d’une longueur d’onde souhaitée provenant de l’extérieur avec l’intérieur de la chambre ; un appareil d’excitation qui amplifie le laser de lumière rencontrant l’intérieur de la chambre en excitant le matériau de laser ; une seconde fenêtre prévue sur la chambre et qui sort le laser de lumière amplifié par l’appareil d’excitation vers l’extérieur de la chambre ; un miroir disposé sur une voie optique de laser entre la première fenêtre et la seconde fenêtre ; et un film de sélection de longueur d’onde disposé sur la première fenêtre et/ou la seconde fenêtre et/ou le miroir et supprimant la propagation de lumière d’une longueur d’onde à supprimer différant de la longueur d’onde souhaitée.
(JA) 所望の波長とは異なる抑制対象波長の光の伝搬を抑制する。 レーザ媒質を収容するチャンバと、チャンバに設けられ、外部から所望波長のレーザ光をチャンバの内部に入射させる第1のウインドウと、チャンバの内部に入射されたレーザ光を、レーザ媒質を励起することによって増幅する励起装置と、チャンバに設けられ、励起装置によって増幅されたレーザ光をチャンバの外部に出力させる第2のウインドウと、第1のウインドウと第2のウインドウとの間のレーザ光路上に設けられたミラーと、第1のウインドウ及び第2のウインドウ、並びにミラーのうち、少なくとも1つに設けられ、所望波長とは異なる抑制対象波長の光の伝搬を抑制する波長選択膜とを備えてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)