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1. (WO2015033543) ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/033543    International Application No.:    PCT/JP2014/004460
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 01.09.2014
IPC:
G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), B81B 3/00 (2006.01), H01L 29/84 (2006.01)
Applicants: DENSO CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661 (JP)
Inventors: SAKAI, Minekazu; (JP).
SUGIMOTO, Kiyomasa; (JP)
Agent: KIN, Junhi; (JP)
Priority Data:
2013-182292 03.09.2013 JP
Title (EN) ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION
(JA) 加速度センサ
Abstract: front page image
(EN)In an acceleration sensor, a rod-like weight part (21) is provided in a semiconductor layer (13) so as to pass through the center of a frame (22) and extend in a second direction and is coupled to the frame (22) via a first beam part (23a). Further, the weight part (21) is provided with movable electrodes for a first direction (24, 25) and movable electrodes (26, 27) for a second direction. As a result, because it is possible to apply the masses of the movable electrodes for the first and second directions (24-27) to the vicinity of the center of the frame (22) and reduce torque, detection accuracy reduction can be suppressed.
(FR)Selon la présente invention, dans un capteur d'accélération, une partie de poids (21) du type tige est disposée dans une couche de semi-conducteurs (13) de façon à traverser le centre d'un cadre (22) et à s'étendre dans une seconde direction, et est couplée au cadre (22) par l'intermédiaire d'une première partie de poutre (23a). En outre, la partie de poids (21) est pourvue d'électrodes mobiles pour une première direction (24, 25) et d'électrodes mobiles (26, 27) pour une seconde direction. Par conséquent, étant donné qu'il est possible d'appliquer les masses des électrodes mobiles pour les première et seconde directions (24-27) à proximité du centre du cadre (22) et de réduire un couple, une réduction de la précision de détection peut être éliminée.
(JA) 加速度センサにおいて、半導体層(13)に、枠部(22)の中心を通り、第2方向に延設されると共に第1梁部(23a)を介して枠部(22)と連結された棒状の錘部(21)を設ける。そして、当該錘部(21)に、第1方向用可動電極(24、25)および第2方向用可動電極(26、27)を備える。これによれば、第1、第2方向用可動電極(24~27)の質量を枠部(22)の中心近傍にかけることができ、回転モーメントを小さくできるため、検出精度が低下することを抑制できる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)