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1. (WO2015032561) EXCIMER EMITTER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/032561    International Application No.:    PCT/EP2014/066673
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 04.08.2014
IPC:
H01J 61/34 (2006.01), H01J 61/36 (2006.01), H01J 65/04 (2006.01)
Applicants: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH [DE/DE]; Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau (DE)
Inventors: BERGER, Ulrich; (DE)
Priority Data:
10 2013 109 833.9 09.09.2013 DE
Title (DE) EXCIMER-STRAHLER
(EN) EXCIMER EMITTER
(FR) ÉMETTEUR À EXCIMÈRES
Abstract: front page image
(DE)Bekannte Excimer-Strahler weisen einen geschlossenen, ringspaltförmigen Entladungsraum auf, der sich zwischen einem Außenrohr und einem koaxial darin angeordneten Innenrohr erstreckt, wobei Außenrohr und Innenrohr an ihren stirnseitigen Enden über eine Abdichtung gasdicht verschlossen sind. Um hiervon ausgehend einen Excimer-Strahler anzugeben, der eine hohe Widerstandsfähigkeit bei thermischer Beanspruchung aufweist und darüber hinaus einfach und kostengünstig zu fertigen ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass mindestens eine der Abdichtungen ein Dichtpresselement mit einem Grundkörper und einem mit diesem zusammenwirkenden und relativ zum Grundkörper bewegbaren Träger, sowie mindestens zwei Dichtringe umfasst, von denen einer an einer Innenseite des Außenrohrs und der andere an einer Außenseite des Innenrohrs anliegt, und dass der Träger und der Grundkörper in ihrer Zusammenwirkung eine in Richtung einer Außenrohr-Längsachse auf die Dichtringe wirkende Anpresskraft erzeugen, die eine Querdehnung der Dichtringe senkrecht zur Richtung der Anpresskraft bewirkt.
(EN)Known excimer emitters have a closed, annular-gap-shaped discharge space, which extends between an outer tube and an inner tube arranged coaxially within the outer tube, wherein the outer tube and the inner tube are closed gas-tight at the end-face ends thereof by means of a seal. According to the invention, in order to specify an excimer emitter on the basis thereof, which excimer emitter is highly resistant to thermal loads and furthermore is simple and economical to produce, at least one of the seals comprises a sealing pressing element, which has a main body and a carrier that interacts with the main body and can be moved in relation to the main body, and at least two sealing rings, of which one sealing ring lies against an inner surface of the outer tube and the other sealing ring lies against an outer surface of the inner tube, and that the carrier and the main body produce a contact pressing force acting on the sealing rings in the direction of an outer-tube longitudinal axis when the carrier and the main body interact, which contact pressing force causes a transverse extension of the sealing rings perpendicular to the direction of the contact pressing force.
(FR)L'invention concerne un émetteur à excimères. Les émetteurs à excimères connus comprennent une chambre de décharge fermée et en forme de fente annulaire, ladite chambre s'étendant entre un tube extérieur et un tube intérieur disposé dans celui-ci de manière coaxiale, le tube extérieur et le tube intérieur étant fermés par leurs extrémités frontales et de manière étanche au gaz au moyen d'un joint d'étanchéité. L'invention vise à fournir, à partir de ces émetteurs connus, un émetteur à excimères présentant une résistance élevée à une sollicitation thermique et pouvant être fabriqué en outre de manière simple et peu onéreuse. A cet effet, selon l'invention, au moins un des joints d'étanchéité est un élément de pression et d'étanchéité pourvu d'un corps de base et d'un support coopérant avec celui-ci et mobile par rapport à ce dernier, ainsi qu'au moins deux bagues d'étanchéité, parmi lesquelles l'une repose sur une face intérieure du tube extérieur et l'autre repose sur une face extérieure du tube intérieur, et le support et le corps de base produisent au cours de leur coopération une force de pression agissant en direction d'un axe longitudinal de tube extérieur sur les bagues d'étanchéité, cette force entraînant un allongement transversal des bagues d'étanchéité perpendiculairement à la force de pression.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)