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Pub. No.:    WO/2015/032263    International Application No.:    PCT/CN2014/084183
Publication Date: 12.03.2015 International Filing Date: 12.08.2014
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ZHANGJIAGANG INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGIES SOOCHOW UNIVERSITY [CN/CN]; No.10 Changjing Road, Zhangjiagang Suzhou, Jiangsu 215600 (CN)
Inventors: HU, Jin; (CN).
PU, Donglin; (CN).
CHEN, Linsen; (CN)
Agent: UNITALEN ATTORNEYS AT LAW; 7th Floor, Scitech Place No.22, Jian Guo Men Wai Ave., Chao Yang District Beijing 100004 (CN)
Priority Data:
201310395256.2 03.09.2013 CN
(ZH) 一种光学加工系统和方法
Abstract: front page image
(EN)An optical processing system and method. The system comprises an optical system, a bearing platform, a drive system and a control system, wherein the optical system comprises a spatial light modulator (12) which is used as a pattern generation device of the optical system, the spatial light modulator (12) is provided with several pixel units, and each pixel unit is a reflecting mirror (121). When the spatial light modulator (12) conducts pattern generation, the reflecting mirrors (121) of the pixel units participating in pattern construction are uniformly turned over at the same angle γ, so that the spatial light modulator (12) constitutes a grating structure using γ as a blazing angle. The grating structure conducts diffractive light splitting on incident light, so that the optical system obtains at least two beams of coherent light capable of forming interference. The optical system uses the coherent light to complete interference direct-writing composite photoetching, so that the resolution of ordinary laser direct-writing technology is greatly improved.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de traitement optique. Le système comporte un système optique, une plate-forme de support, un système d'entraînement et un système de commande, le système optique comportant un modulateur de lumière spatiale (12) qui est utilisé comme dispositif de génération de motif du système optique, le modulateur de lumière spatiale (12) étant pourvu de plusieurs unités de pixel, chaque unité de pixel étant un miroir réfléchissant (121). Lorsque le modulateur de lumière spatiale (12) effectue une génération de motif, les miroirs réfléchissants (121) des unités de pixel participant à une construction de motif sont retournés uniformément au même angle γ, de telle sorte que le modulateur de lumière spatiale (12) constitue une structure en réseau utilisant γ en tant qu'angle de blaze. La structure en réseau effectue une séparation de lumière de diffraction sur une lumière incidente, de telle sorte que le système optique obtient au moins deux faisceaux de lumière cohérente aptes à former une interférence. Le système optique utilise la lumière cohérente pour achever une photogravure composite par écriture directe d'interférence, de telle sorte que la résolution d'une technologie d'écriture directe au laser ordinaire est considérablement améliorée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)