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1. (WO2015030167) SUSCEPTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/030167    International Application No.:    PCT/JP2014/072725
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 29.08.2014
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: BRIDGESTONE CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Kyobashi 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048340 (JP)
Inventors: KOBAYASHI, Fumiya; .
KUMAGAI, Sho; .
USHITA, Kazuhiro; .
ONISHI, Tadashi; .
ISHIGAKI, Tomonori;
Agent: MIYOSHI, Hidekazu; (JP)
Priority Data:
2013-177869 29.08.2013 JP
2014-171502 26.08.2014 JP
2014-171504 26.08.2014 JP
Title (EN) SUSCEPTOR
(FR) SUSCEPTEUR
(JA) サセプタ
Abstract: front page image
(EN)Provided is a susceptor capable of improving thermal uniformity while suppressing reduction in temperature increase speed and heat utilization efficiency in the susceptor. The susceptor (100) comprises: a plate-shaped first member (10) having a wafer arrangement surface on which wafers are arranged; and a second member (20) supporting the first member (10) and laminated upon the first member (10) in a direction orthogonal to the wafer arrangement surface. The thermal conductivity of the first member (10) is higher than the thermal conductivity of the second member (20).
(FR)L'invention concerne un suscepteur capable d'améliorer l'uniformité thermique tout en s'opposant à une réduction de la vitesse d'accroissement de la température et du rendement d'utilisation de la chaleur dans le suscepteur. Le suscepteur (100) comporte: un premier élément aplati (10) présentant une surface d'agencement de tranches sur laquelle sont agencées des tranches; et un deuxième élément (20) soutenant le premier élément (10) et stratifié par-dessus le premier élément (10) dans une direction orthogonale à la surface d'agencement de tranches. La conductivité thermique du premier élément (10) est supérieure à la conductivité thermique du deuxième élément (20).
(JA) サセプタの昇温速度及び熱利用効率の低下を抑制しながら、均熱性を向上することを可能とするサセプタを提供する。サセプタ(100)は、ウェハが載置されるウェハ配置面を有する板状の第1部材(10)と、ウェハ配置面に対して直交する方向において第1部材(10)と積層されており、第1部材(10)を支持する第2部材(20)とを備える。第1部材(10)の熱伝導率は、第2部材(20)の熱伝導率よりも高い。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)