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Pub. No.:    WO/2015/030035    International Application No.:    PCT/JP2014/072383
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 27.08.2014
B08B 3/08 (2006.01), B01F 3/04 (2006.01), B01F 5/06 (2006.01), B05B 7/04 (2006.01), C02F 1/78 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: UNIVERSITY OF TSUKUBA [JP/JP]; 1-1-1, Tennodai, Tsukuba-shi, Ibaraki 3058577 (JP).
APPTEX LLC [JP/JP]; 2-16, Nagakunidai, Tsuchiura-shi, Ibaraki 3000810 (JP) (JP only)
Inventors: ABE, Yutaka; (JP).
IKE, Masatoshi; (JP)
Agent: SAKAI, Hiroaki; (JP)
Priority Data:
2013-177309 28.08.2013 JP
(JA) 洗浄装置および洗浄方法
Abstract: front page image
(EN)A cleaning device is provided with: a venturi tube, which has an introduction part into which is introduced a gas-liquid mixture wherein water and an ozone-containing gas, which is a reactive gas, are mixed, a throat part, which has a smaller internal cross-sectional surface area than the internal cross-sectional surface area of the introduction part and wherein the gas-liquid mixture is compressed and increased in flow rate, and an expanded part having a shape in which the internal cross-sectional surface area expands moving from the throat part toward the direction of travel of the gas-liquid mixture and generating microbubbles by the collapse of bubbles of the reactive gas included in the gas-liquid mixture; and a cleaning jig having a spray part on which a spray outlet for spraying the gas-liquid mixture is provided. The gas-liquid mixture that includes the microbubbles and which is sprayed from the venturi tube is sprayed on an object to be cleaned from the spray outlet and cleans the object to be cleaned. Thus, a cleaning device and cleaning method wherein the cleaning power is high in relation to the amount of ozone used are provided.
(FR)Cette invention concerne un dispositif de nettoyage comprenant : un tube venturi, comportant une partie introduction pour introduire un mélange gaz-liquide dans lequel l'eau et un gaz contenant de l'ozone, qui est un gaz réactif, sont mélangés, une partie gorge, ayant une surface interne en coupe transversale plus petite que la surface interne en coupe transversale de la partie introduction et dans laquelle le mélange gaz-liquide est soumis à une compression et accélération de débit, et une partie expansée ayant une forme dans laquelle la surface interne en coupe transversale s'expanse en se déplaçant de la partie gorge en direction du sens de circulation du mélange gaz-liquide et générant des microbulles par affaissement des bulles du gaz réactif contenu dans le mélange gaz-liquide; et un montage de nettoyage comportant une partie pulvérisateur munie d'un orifice de pulvérisation pour pulvériser le mélange gaz-liquide. Le mélange gaz-liquide qui contient les microbulles et qui est pulvérisé à partir du tube venturi est pulvérisé sur un objet qui doit être nettoyé à partir de l'orifice de pulvérisation et nettoie l'objet qui doit être nettoyé. Par conséquent, cette invention concerne un dispositif et un procédé de nettoyage ayant un pouvoir de nettoyage élevé par rapport à la quantité d'ozone utilisée.
(JA) 水と反応性ガスであるオゾン含有ガスとが混合された気液混合体が導入される導入部と、前記導入部の内部断面積よりも小さい内部断面積を有し、前記気液混合体が圧縮されて流速が高められる喉部と、前記喉部から前記気液混合体の進行方向に向かって内部断面積が拡大する形状を有し、前記気液混合体に含まれる前記反応性ガスの気泡が崩壊してマイクロバブルが発生する拡大部と、を有するベンチュリ管と、前記気液混合体を噴出するための噴出口が設けられた噴射部を有する洗浄用治具と、を備え、前記ベンチュリ管から噴出された前記マイクロバブルを含む気液混合体を前記噴出口から洗浄対象に噴射して前記洗浄対象を洗浄する洗浄装置である。これにより、オゾンの使用量に対して洗浄力が高い洗浄装置および洗浄方法が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)