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Pub. No.:    WO/2015/030028    International Application No.:    PCT/JP2014/072363
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 27.08.2014
G01R 1/067 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: TPS CORPORATION [JP/JP]; Musashikosugi STM Building 5F, 403, Kosugimachi 1-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2110063 (JP)
Inventors: KOBAYASHI Ken-ichi; (JP)
Priority Data:
2013-175148 27.08.2013 JP
(JA) カンチレバー型プローブおよびプローブカード
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides a cantilever-type probe which makes it possible to eliminate the drawbacks of a conventional cantilevered probe and consequently raise the level of integration of an object to be measured. This cantilever-type probe is provided with a fixed section fixed to a support member, a spring section extending for a predetermined length from the fixed section, and a contact section which extends diagonally from the spring section in a direction that is along an extension of the spring section and that goes away from the surface of the support member and which has a free end possessing a point of contact with an object to be measured. The cantilever-type probe is characterized by the following: a fulcrum in contact with the surface of the support member is formed on the contact section; the spring section is elastically deformable; the contact section and the fulcrum are more rigid than a base; when the contact point of the contact section makes contact with the object to be measured and the contact section rotates in the direction of the support member, the spring section is elastically deformed convexly in the direction going away from the support member; in association therewith, the fulcrum slides over the surface of the support member and moves toward the fixed section; and fluctuations in the longitudinal position of the contact point of the contact section due to the aforementioned rotation of the contact section are thereby absorbed.
(FR)La présente invention concerne une sonde du type en porte-à-faux qui permet d'éliminer les inconvénients d'une sonde en porte-à-faux classique et, par conséquent, d'élever le niveau d'intégration d'un objet à mesurer. La sonde du type en porte-à-faux est pourvue d'une section fixe, fixée à un élément de support, d'une section de ressort, s'étendant sur une longueur prédéterminée à partir de la section fixe, et d'une section de contact qui s'étend en diagonale à partir de la section de ressort dans une direction qui se trouve le long d'une extension de la section de ressort et qui s'éloigne de la surface de l'élément de support, et qui présente une extrémité libre possédant un point de contact avec un objet à mesurer. La sonde du type en porte-à-faux est caractérisée par ce qui suit : un pivot en contact avec la surface de l'élément de support est formé sur la section de contact; la section de ressort peut se déformer élastiquement; la section de contact et le pivot sont plus rigides qu'une base; lorsque le point de contact de la section de contact entre en contact avec l'objet à mesurer et que la section de contact tourne dans la direction de l'élément de support, la section de ressort est déformée élastiquement de façon convexe dans la direction s'éloignant de l'élément de support; en association avec ce dernier, le pivot coulisse sur la surface de l'élément de support et se déplace vers la section fixe; des fluctuations dans la position longitudinale du point de contact de la section de contact, en raison de la rotation susmentionnée de la section de contact, sont ainsi absorbées.
(JA) 本発明は、従来の片持ち状のプローブの上記欠点を解消し、ひいては、被測定物の高集積化を図ることの出来るカンチレバー型プローブを提供する。 本発明のカンチレバー型プローブは、支持部材に固定された固定部、この固定部から所定長伸びるバネ部、およびこのバネ部から該バネ部の延長上であって、前記支持部材の表面から離れる方向に斜めに伸び、自由端が被測定物への接触点を持つ接触部を備えたカンチレバー型プローブであって、前記接触部には、前記支持部材の表面に接触する支点部が形成されており、前記バネ部は弾性変形可能であり、前記接触部および支点部は基部に比して剛性であり、前記接触部の接触点が被測定物に接触して該接触部が前記支持部材の方向に回動したとき、前記バネ部は、前記支持部材から離れる方向に凸状に弾性変形し、これに伴い前記支点部は、前記支持部材の表面を摺動して前記固定部の方向に移動し、これにより、前記接触部の前記回動による該接触部の接触点の長手方向位置の変動を吸収するようにしたことを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)